[发明专利]压电感测器

权利要求书

1.一种压电感测器，包括：

一基底；

多个主动元件，设置于该基底上；

多个电极，设置该基底上，且与所述主动元件电性连接；以及

一压电膜，设置于所述电极上，且具有朝向所述电极的一第一表面以及设置于该第一表面的对向的一第二表面；

其中，该压电膜的该第一表面具有多个第一凹部及所述第一凹部所定义的多个第一凸部，该压电膜的该第二表面具有多个第二凹部以及所述第二凹部所定义的多个第二凸部，所述第一凸部对应于所述第二凸部设置，且所述第一凹部对应于所述第二凹部设置，其中所述第一凸部分别重叠于所述第二凸部，且所述第一凹部分别重叠于所述第二凹部。

2.如权利要求1所述的压电感测器，其中，所述第一凹部的一者与对应的所述第二凹部的一者之间具有该压电膜的一实体材料部。

3.如权利要求1所述的压电感测器，其中，所述第一凹部的垂直投影位于所述电极的垂直投影外且每个第一凹部位于两相邻的所述电极的垂直投影之间，所述第二凹部的垂直投影位于所述电极的垂直投影外且每个第二凹部位于两相邻的所述电极的垂直投影之间。

4.如权利要求1所述的压电感测器，其中，所述第一凸部分别设置于所述电极上。

5.如权利要求1所述的压电感测器，其中，所述电极彼此隔开且阵列排列于该基底上。

6.如权利要求1所述的压电感测器，其中，该压电膜的材料包括聚偏二氟乙烯、聚偏氟乙烯及其共聚物、聚氟乙烯、聚氯乙烯或聚-γ-甲基-L-谷氨酸酯或尼龙-11。

7.如权利要求1所述的压电感测器，其中，其中一个所述第一凹部与其中一个所述第二凹部的垂直投影重叠于其中一个所述电极的垂直投影。