[发明专利]压电感测器

说明书

一种压电感测器，包括基底、多个主动元件、多个电极以及压电膜。主动元件设置于基底上。电极设置基底上，且与主动元件电性连接。压电膜设置于电极上，且具有朝向电极的第一表面以及设置于第一表面的对向的第二表面。压电膜的第一表面具有多个第一凹部及第一凹部所定义的多个第一凸部。压电膜的第二表面具有多个第二凹部以及第二凹部所定义的多个第二凸部。第一凸部对应于第二凸部设置，且第一凹部对应于第二凹部设置。

技术领域

本发明涉及一种感测器，且特别涉及一种压电感测器。

背景技术

目前，可将柔性压电材料(例如，商用市售的聚偏二氟乙烯(PVDF)薄膜)贴附在阵列化的薄膜晶体管基板上，以形成阵列化压电感测器，并应用在声波感测或扬声器中。其中，阵列化的薄膜晶体管可用来收集大面积里的特定小范围压电信息，可制作成高精细/分辨率的压电感测元件。

当压电感测器的分辨率需求提高时，阵列化的薄膜晶体管基板上的每一电极的面积势必得缩小，因而使得小面积的电极可得到的单点信号降低。于是，需要增加压电材料的厚度以产生更大的信号，以提高小面积的电极可得到的单点信号。然而，更厚的压电材料与更小更密的电极却会造成更严重的相互干扰(crosstalk)，进而降低压电感测器的分辨率。

发明内容

本发明提供一种压电感测器，可改善相互干扰的问题、具有较佳的分辨率。

本发明的压电感测器，包括基底、多个主动元件、多个电极以及压电膜。主动元件设置于基底上。电极设置基底上，且与主动元件电性连接。压电膜设置于电极上，且具有朝向电极的第一表面以及设置于第一表面的对向的第二表面。压电膜的第一表面具有多个第一凹部及第一凹部所定义的多个第一凸部。压电膜的第二表面具有多个第二凹部以及第二凹部所定义的多个第二凸部。第一凸部对应于第二凸部设置，且第一凹部对应于第二凹部设置。

在本发明的一实施例中，上述的第一凹部的一者与对应的第二凹部的一者之间具有压电膜的实体材料部。

在本发明的一实施例中，上述的第一凸部分别重叠于第二凸部，且第一凹部分别重叠于第二凹部。

在本发明的一实施例中，上述的第一凸部分别设置于电极上。

在本发明的一实施例中，上述的电极彼此隔开且阵列排列于基底上。

在本发明的一实施例中，上述的压电膜的材料包括聚偏二氟乙烯、聚偏氟乙烯及其共聚物、聚氟乙烯、聚氯乙烯或聚-γ-甲基-L-谷氨酸酯或尼龙-11。

在本发明的一实施例中，上述的电极包括透明电极、反射电极或其组合。

为让本发明的上述特征和优点能更明显易懂，下文特举实施例，并配合附图作详细说明如下。

附图说明

图1A为本发明一实施例的压电感测器的俯视示意图。

图1B为对应图1A的剖线A-A’的本发明一实施例的压电感测器的剖面示意图。

图2A为本发明一实施例的压电感测器于外力施加时的剖面示意图。

图2B为本发明一比较例的压电感测器于外力施加时的剖面示意图。

图2C为本发明另一比较例的压电感测器的剖面示意图。

图3为本发明另一实施例的压电感测器的剖面示意图。

图4为本发明另一实施例的压电感测器的剖面示意图。

其中，附图标记说明如下：

100、100a、100b、100c、200、300：压电感测器

110：主动元件基板

111：基底