[发明专利]有机EL显示面板的制造方法

权利要求书

1.一种有机EL显示面板的制造方法，其特征在于，

是一种有机EL显示面板的制造方法，其包括：

准备基板的工序；

在所述基板上以行列状形成多个像素电极的工序；

在所述基板上的至少行方向上的所述像素电极与所述像素电极之间，在行方向上并列设置多个在列方向上延伸的列围堰的工序；

在行方向上相邻的所述列围堰间的间隙中，分别在列方向上连续地涂布含有有机发光材料的油墨的工序；

在俯视中，至少使覆盖所述基板的涂布了所述油墨的区域的整流板成为从所述基板的上表面离开了第一距离的状态，在所述状态下将包含所述基板的气氛的压力减压至第一压力的工序；

在所述气氛的压力达到所述第一压力后，使所述整流板成为从所述基板的上表面离开了比所述第一距离大的第二距离的状态，在所述状态下将所述气氛的压力减压至第二压力以下的工序，其中所述第二压力比所述第一压力低，其中所述第一压力为1×10⁴Pa以上且5×10⁴Pa以下，所述第一距离为2mm以上且10mm以下；

通过加热所述基板而形成有机功能层的工序；

在除去所述整流板的状态下在所述有机功能层上方形成对置电极的工序。

2.根据权利要求1所述的有机EL显示面板的制造方法，其中，

所述第二压力为1×10^－1Pa，

所述第二距离为30mm以上且70mm以下。

3.根据权利要求1所述的有机EL显示面板的制造方法，其中，

所述第一距离相对于包含所述基板的多个所述列围堰的范围的宽度的比率为5/2000以上且5/100以下。

4.根据权利要求1至2中任一项所述的有机EL显示面板的制造方法，其中，

到达所述第一压力的时间是开始所述气氛的压力的减压后，1秒以上且300秒以下的时间。

5.根据权利要求1至2中任一项所述的有机EL显示面板的制造方法，其中，

在将所述气氛的压力减压至所述第一压力的工序中，促进涂布在所述基板上的油墨的整平，

在将所述气氛的压力减压至所述第二压力的工序中，促进残留在油墨中的溶剂的蒸发。

6.根据权利要求1至2中任一项所述的有机EL显示面板的制造方法，其中，

所述整流板配置在至少与所述基板上的多个所述列围堰对置的位置。

7.根据权利要求1至2中任一项所述的有机EL显示面板的制造方法，其中，

所述整流板在所述基板的上方覆盖所述基板，通过升降机构来变更相对于所述基板的相对高度。