[发明专利]有机EL显示面板的制造方法

说明书

有机EL显示面板的制造方法，通过实现发光层(123)膜厚均匀化改善亮度不均，包括：在基板(100x)上在行方向并列设置多个在列方向延伸的列围堰(522Y)；在列围堰间间隙(522z)连续涂布含有机发光材料的油墨；使覆盖涂布区域的整流板(400)成为从基板上面离开第一距离(Y1)的状态，在该状态下将包含基板的气氛的压力减压至第一压力(P1)；在气氛的压力达到第一压力后，使整流板成为从基板的上面离开比第一距离大的第二距离(Y2)的状态，在该状态下将气氛的压力减压至比第一压力低的第二压力(P2)以下的压力；通过加热基板形成发光层(123)；在除去整流板的状态下在有机功能层上方形成对置电极(125)。

技术领域

本公开涉及使用了利用有机材料的电致发光现象的有机EL(ElectroLuminescence：电致发光)元件的有机EL显示面板的制造方法，以及该方法所使用的油墨干燥装置。

背景技术

近年来，作为用于数字电视等显示装置的显示面板，在基板上以矩阵状排列了多个有机EL元件的有机EL显示面板被实用化。该有机EL显示面板由于各有机EL元件进行自发光，所以视觉辨认性高。

近年来，随着设备的大型化，作为高效的功能膜的成膜方法，提出了一种基于喷墨法等涂布含有功能性材料的油墨的湿法工艺。湿法工艺在涂敷功能膜时的位置精度不依赖于基板尺寸，具有对设备的大型化的技术障碍比较低的优点。在代表性的喷墨法的湿法工艺中，在涂布装置的作业台上载置涂布对象基板。使墨头相对于基板表面向一个方向扫描，从喷墨头的多个喷嘴向基板表面的规定区域滴下油墨。然后使油墨的溶剂蒸发干燥而形成功能膜。

但是，在利用在这样的基板上填充油墨并进行干燥的方法形成功能层的湿法工艺中，在使油墨的溶剂蒸发干燥的工艺中，在成膜区域的中央部分和周缘部分，由于周缘部分比中央部分的溶剂蒸气压低，所以溶剂的蒸发速度快。其结果是，存在形成于基板中央部分的像素的功能层与形成于基板端部的像素的功能层的膜厚互不相同的倾向。像这样，如果基板中央部分的像素与基板周缘部分的像素的功能层的膜厚不同，则各功能层的特性也互不相同，因此成为有机EL显示面板中面内亮度不均的原因。

与此相对，例如，在专利文献1中，公开了一种功能膜形成方法，该方法利用仅在基板上的线状围堰的延伸方向上的两端具有开口的整流板覆盖基板并使油墨干燥。另外，在专利文献2中，公开了一种干燥方法，该方法使用具有贯通孔的整流板，将油墨的溶剂向基板的上侧排出。另外，在专利文献3中，公开了一种干燥处理方法该方法在处理容器内的压力为大气压到500Pa时，将基板保持在第一高度位置，在处理容器内的压力为3Pa以下时，使基板下降到比第一高度位置低的第二高度位置，在专利文献3中，记载了在对有机材料膜进行干燥处理时，能够降低混入了处理容器内的水分的影响。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2010-267428号公报

专利文献2：日本特开2007-90200号公报

专利文献3：日本特开2017-67343号公报。

发明内容

发明要解决的技术问题

然而，随着面板的高清晰化，在现有的制造方法中，在由相邻的两个长条状的围堰间的间隙构成的列状涂布区域中涂布含有有机发光材料的油墨而形成发光层的结构中，存在如下问题：由于油墨溶剂的蒸气压分布，在基板上的列状涂布区域内功能层的膜厚不均匀成为亮度不均的主要原因。在长条状的列状涂布区域中涂布油墨而形成发光层的结构中，由于主要在列方向上连续地涂布油墨，所以列端部的膜厚变动的影响容易波及到包含显示区域的基板内侧。

本公开是鉴于上述课题而完成的，其目的在于提供一种通过在基板上的列状涂布区域内实现发光层的膜厚的均匀化来改善面内的亮度不均的有机EL显示面板的制造方法。

解决技术问题的手段