[发明专利]抛光头和具有抛光头的抛光载体装置

权利要求书

1.一种抛光头，包括：

载体主体，可拆卸地固定到驱动轴并且具有贯穿所述载体主体以从所述载体主体的上表面延伸到所述载体主体的下表面的多个第一流体通道，所述第一流体通道的上端部布置成在围绕所述载体主体的中心轴的圆周方向上彼此间隔开；

柔性膜，夹紧到所述载体主体的下部以形成多个加压腔室，其中，所述多个加压腔室中的至少一个加压腔室被划分成在围绕所述柔性膜的中心轴的圆周方向上布置的多个子腔室，所述子腔室分别与所述第一流体通道的下端部流体连通；以及

流体密封部分，在所述载体主体上，用于支撑所述载体主体以使所述载体主体能够旋转，并使流体在密封状态下流入每个所述第一流体通道。

2.根据权利要求1所述的抛光头，其中，所述载体主体包括：

壳体，固定到所述驱动轴；以及

基座组件，安装在所述壳体下方并能够与所述壳体一起旋转。

3.根据权利要求2所述的抛光头，其中，所述第一流体通道从所述基座组件的上表面延伸到所述基座组件的下表面。

4.根据权利要求1所述的抛光头，其中，所述流体密封部分包括：

旋转环，在所述载体主体的上表面上，以能够与所述载体主体一起旋转，其中，第一通孔贯穿所述旋转环以分别连接到所述第一流体通道；以及

静止环，固定地支撑在所述旋转环上，以使得所述旋转环相对于所述静止环进行滑动运动，所述静止环具有贯穿所述静止环的第二通孔，其中，所述第一通孔通过所述旋转环的相对旋转运动选择性地连接到所述第二通孔。

5.根据权利要求4所述的抛光头，其中，所述第一通孔具有围绕中心轴的狭缝形状。

6.根据权利要求4所述的抛光头，其中，所述第一通孔的数量与所述第二通孔的数量相同。

7.根据权利要求4所述的抛光头，其中，所述第一通孔的数量与所述第一流体通道的数量相同。

8.根据权利要求4所述的抛光头，其中，所述第二通孔相对于中心轴以相等的角度间隔布置。

9.根据权利要求1所述的抛光头，其中，所述柔性膜包括：

盘形主要部分，具有与待抛光基板的背面接触的第一表面以及与所述第一表面相对的第二表面；以及

至少一个延伸部分，从所述主要部分的所述第二表面突出以被夹紧到所述载体主体的所述下部，以形成所述加压腔室中的至少一个加压腔室。

10.根据权利要求9所述的抛光头，其中，所述柔性膜包括：分隔部分，划分所述至少一个加压腔室以形成所述多个子腔室。

11.一种抛光头，包括：

壳体，可拆卸地固定到驱动轴；

基座组件，安装在所述壳体下方并能够与所述壳体一起旋转，所述基座组件具有贯穿所述基座组件以从所述基座组件的上表面延伸到所述基座组件的下表面的多个第一流体通道；

柔性膜，夹紧到所述基座组件的下部以形成多个加压腔室，其中，所述多个加压腔室中的至少一个加压腔室被划分成多个子腔室，所述子腔室分别与所述第一流体通道流体连通；以及

流体密封部分，在所述基座组件上围绕所述壳体，用于支撑所述基座组件以使所述基座组件能够旋转，并使流体在密封状态下流入每个所述第一流体通道。

12.根据权利要求11所述的抛光头，其中，所述第一流体通道的上端部被布置成在围绕所述基座组件的中心轴的圆周方向上彼此间隔开。