[发明专利]抛光头和具有抛光头的抛光载体装置

说明书

一种抛光头包括：载体主体，可拆卸地固定到驱动轴并且具有贯穿载体主体以从载体主体的上表面延伸到载体主体的下表面的多个第一流体通道，第一流体通道的上端部布置成在围绕载体主体的中心轴的圆周方向上彼此间隔开；柔性膜，夹紧到载体主体的下部以形成多个加压腔室，其中，至少一个加压腔室被划分成在围绕柔性膜的中心轴的圆周方向上布置的多个子腔室，子腔室分别与第一流体通道的下端部流体连通；以及流体密封部分，在载体主体上，用于支撑载体主体以使载体主体能够旋转并使流体在密封状态下流入每个第一流体通道。

相关申请的交叉引用

2018年9月17日在韩国知识产权局(KIPO)提交的题为“抛光头和具有抛光头的抛光载体装置”的韩国专利申请10-2018-0111119通过引用方式而整体并入本文。

技术领域

示例实施例涉及一种抛光头和一种具有抛光头的抛光载体装置。

背景技术

化学机械抛光过程可以包括通过旋转运动和往复运动抛光晶片。

发明内容

实施例涉及一种抛光头，包括：载体主体，可拆卸地固定到驱动轴并且具有贯穿载体主体以从载体主体的上表面延伸到载体主体的下表面的多个第一流体通道，第一流体通道的上端部布置成在围绕载体主体的中心轴的圆周方向上彼此间隔开；柔性膜，夹紧到载体主体的下部以形成多个加压腔室，其中，至少一个加压腔室被划分成在围绕柔性膜的中心轴的圆周方向上布置的多个子腔室，子腔室分别与第一流体通道的下端部流体连通；以及流体密封部分，在载体主体上，用于支撑载体主体以使载体主体能够旋转并使流体在密封状态下流入每个第一流体通道。

实施例还涉及一种抛光头，包括：壳体，可拆卸地固定到驱动轴；基座组件，安装在壳体下方并能够与壳体一起旋转，基座组件具有贯穿基座组件以从基座组件的上表面延伸到基座组件的下表面的多个第一流体通道；柔性膜，夹紧到基座组件的下部以形成多个加压腔室，其中至少一个加压腔室被划分成多个子腔室，子腔室分别与第一流体通道流体连通；以及流体密封部分，在基座组件上围绕壳体，用于支撑基座组件以使基座组件能够旋转并使流体在密封状态下流入每个第一流体通道。

实施例还涉及一种抛光载体装置，包括：上模块，具有旋转接头；抛光头，被构造成对待抛光的基板进行吸附和加压，该抛光头包括可拆卸地固定到旋转接头的驱动轴的载体主体、夹紧到载体主体的下部以形成多个加压腔室的柔性膜以及在载体主体上用于支撑载体主体以使载体主体能够旋转的流体密封部分，其中，多个加压腔室中的至少一个加压腔室被划分成多个子腔室；密封壳体，置于上模块和抛光头之间；以及气体供应单元，被构造成通过密封壳体和流体密封部分将气体供应到每个子腔室中。

附图说明

通过参考附图详细描述示例实施例，特征对于本领域技术人员将变得显而易见，其中：

图1示出了根据示例实施例的化学机械抛光装置的截面图。

图2示出了图1中的抛光载体装置的截面图。

图3示出了根据示例实施例的抛光头的透视图。

图4示出了图3中的抛光头的分解透视图，其中静止环从抛光头上拆下。

图5示出了沿图3中的线I-I'截取的截面图。

图6示出了沿图3中的线I-I'截取的局部分解透视图。

图7示出了图6中的抛光头的局部分解透视图，其中静止环从抛光头上移除。

图8示出了图3中的抛光头的柔性膜的透视图。

图9示出了图3中的柔性膜的旋转环和最外侧子腔室的平面图。

图10A至图10F示出了图3中的流体密封部分的静止环和旋转环的相对旋转运动的平面图。

具体实施方式