[发明专利]共聚物和相关层状制品，以及器件形成方法

权利要求书

1.一种形成电子器件的方法，所述方法包含：

(a)在基板上涂覆光阻层；

(b)在所述光阻层上涂覆包含共聚物的面涂层；

(c)使所述光阻层直到所述面涂层逐图案曝露于活化辐射；以及

(d)使所述的所曝光光阻层显影以提供抗蚀剂浮雕影像；

其中所述共聚物包含单体聚合产物，所述单体包含∶

频带外吸收型单体；以及

碱溶解度增强型单体；以及

其中由所述共聚物铸成的膜在150纳米到400纳米范围内的波长下具有0.1到0.5的消光系数k。

2.根据权利要求1所述的方法，其中所述活化辐射包含电子束或远紫外辐射。

3.根据权利要求1或2所述的方法，其中所述共聚物具有1.05到1.2的分散度(M_w/M_n)。

4.根据权利要求1或2所述的方法，其中所述频带外吸收型单体包含未被取代或被取代的不含氟的C₆-C₁₈芳基、未被取代或被取代的C₂-C₁₇杂芳基、C₅-C₁₂二烯酮基团，或其组合。

5.根据权利要求1或2所述的方法，其中所述频带外吸收型单体具有结构：

其中

R¹是氢或甲基，

n是0、1、2、3或4，以及

Ar¹是未被取代或被取代的不含氟的C₆-C₁₈芳基。

6.根据权利要求1或2所述的方法，其中所述碱溶解度增强型单体选自由以下各物组成的群组：聚(氧化乙烯)的(甲基)丙烯酸酯、聚(氧化丙烯)的(甲基)丙烯酸酯、碱不稳定性(甲基)丙烯酸酯、被具有2到12的pK_a的基团取代的(甲基)丙烯酸酯，及其组合。

7.根据权利要求1或2所述的方法，其中所述碱溶解度增强型单体包含聚(氧化乙烯)的(甲基)丙烯酸酯以及被1,1,1,3,3,3-六氟-2-羟基-2-丙基取代的(甲基)丙烯酸酯。

8.根据权利要求1或2所述的方法，

其中所述频带外吸收型单体具有结构：

其中R¹是氢或甲基，n是0、1、2、3或4，并且Ar¹是未被取代或被取代的不含氟的C₆-C₁₈芳基；

其中所述碱溶解度增强型单体包含聚(氧化乙烯)的(甲基)丙烯酸酯以及被1,1,1,3,3,3-六氟-2-羟基-2-丙基取代的(甲基)丙烯酸酯；

其中以单体的总摩尔数计，所述单体包含：

30摩尔％到50摩尔％的所述频带外吸收型单体，

30摩尔％到50摩尔％的所述聚(氧化乙烯)的(甲基)丙烯酸酯，以及

10摩尔％到30摩尔％的所述被1,1,1,3,3,3-六氟-2-羟基-2-丙基取代的(甲基)丙烯酸酯；以及

其中所述共聚物具有1.05到1.2的分散度(M_w/M_n)。

9.根据权利要求1或2所述的方法，其中所述面涂层通过对聚合物溶液进行旋涂而形成，所述聚合物溶液包含存在于溶剂中的0.1重量％到3重量％的所述共聚物，所述溶剂选自由以下各物组成的群组：2-甲基-2-丁醇、2-甲基-2-戊醇、2-甲基-2-丁醇与2-甲基-2-戊醇的组合、二丙二醇单甲基醚与2-甲基-2-丁醇的含有至少90重量％2-甲基-2-丁醇的组合、二丙二醇单甲基醚与2-甲基-2-戊醇的含有至少90重量％2-甲基-2-戊醇的组合，以及二丙二醇单甲基醚与2-甲基-2-丁醇与2-甲基-2-戊醇的含有总计至少90重量％2-甲基-2-丁醇以及2-甲基-2-戊醇的组合。

10.一种层状制品，其包含∶

基板：

位于所述基板上的光阻层；以及

包含共聚物、位于所述光阻层上并且和所述光阻层接触的面涂层；

其中所述共聚物包含单体聚合产物，所述单体包含∶

频带外吸收型单体；以及

碱溶解度增强型单体；以及

其中由所述共聚物铸成的膜在150纳米到400纳米范围内的波长下具有0.1到0.5的消光系数k。