[发明专利]薄膜晶体管基板及其制作方法

说明书

本发明提供一种薄膜晶体管基板及其制作方法，包括：基板；遮光层，形成于所述基板上；缓冲层，形成于所述遮光层上；有源层，形成于所述缓冲层上；以及栅极绝缘层，形成于所述有源层上，所述栅极绝缘层具有层叠结构，所述层叠结构包括第一绝缘层和第二绝缘层，所述第一绝缘层的厚度不小于所述第二绝缘层，所述第二绝缘层形成于所述第一绝缘层上。阻碍了缺陷态对电子的俘获，进而有效减少缺陷对薄膜晶体管基板可靠性的影响，提高薄膜晶体管基板的可靠性。

技术领域

本发明涉及显示面板领域，特别涉及一种薄膜晶体管基板及其制作方法。

背景技术

在显示技术领域，液晶显示屏(Liquid Crystal Display，LCD)与有机发光二极管显示屏(Organic Light Emitting Diode，OLED)等平板显示装置已经逐步取代阴极显示屏，而被广泛的应用于手机、电视、个人数字助理、数字相机、笔记本电脑、台式计算机等各种消费性电子产品，成为显示装置中的主流。

通常液晶显示面板由彩膜基板(Color Filter，CF)、薄膜晶体管基板(Thin FilmTransistor，TFT)、夹于彩膜基板与薄膜晶体管基板之间的液晶(Liquid Crystal，LC)及密封胶框(Sealant)组成，其成型工艺一般包括：前段阵列(Array)制程(薄膜、黄光、蚀刻及剥膜)、中段成盒(Cell)制程(薄膜晶体管基板与彩膜基板贴合)及后段模组组装制程(驱动集成电路与印刷电路板压合)。在薄膜晶体管基板的制作过程中，目前顶栅自对准氧化物半导体薄膜晶体管基板采用二氧化硅(SiO2)作为栅极绝缘层，由于二氧化硅沉积过程中引入缺陷，偏压应力对薄膜晶体管基板的特性影响较大，导致薄膜晶体管基板的可靠性较差。

因此，有必要发明一种新的薄膜晶体管基板的制作方法，以解决上述问题。

发明内容

本发明的目的在于发明一种薄膜晶体管基板及其制作方法，栅极绝缘层采用双层结构，阻碍了缺陷态对电子的俘获，进而有效减少缺陷对薄膜晶体管基板可靠性的影响。

为实现上述目的，本发明提供一种薄膜晶体管基板，包括：基板；遮光层，形成于所述基板上；缓冲层，形成于所述遮光层上；有源层，形成于所述缓冲层上；以及栅极绝缘层，形成于所述有源层上，所述栅极绝缘层具有层叠结构，所述层叠结构包括第一绝缘层和第二绝缘层，所述第一绝缘层的厚度不小于所述第二绝缘层，所述第二绝缘层形成于所述第一绝缘层上。

进一步地，还包括：栅极层，形成于所述栅极绝缘层上；导体层，包括第一导体层和第二导体层，分别形成于所述有源层的两端；层间绝缘层，形成于所述栅极层上；过孔，形成于所述层间绝缘层和所述缓冲层内；源漏极金属层，形成于所述过孔内；以及钝化层，形成于所述源漏极金属层上。

进一步地，所述过孔包括第一过孔、第二过孔和第三过孔；所述第一过孔贯穿所述层间绝缘层连接至所述第一导体层；所述第二过孔贯穿所述层间绝缘层连接至所述第二导体层；以及所述第三过孔依次贯穿所述层间绝缘层和所述缓冲层连接至所述遮光层。

进一步地，所述源漏极金属层包括源极金属层和漏极金属层；所述源极金属层形成于所述第二过孔和所述第三过孔内；以及所述漏极金属层形成于所述第一过孔内。

本发明还提供一种薄膜晶体管基板的制作方法，包括如下步骤：

S1、提供一基板，在所述基板上依次形成遮光层、缓冲层和有源层；

S2、在所述有源层上形成栅极绝缘层，所述栅极绝缘层具有层叠结构，所述层叠结构包括第一绝缘层和第二绝缘层，所述第一绝缘层的厚度不小于所述第二绝缘层，所述第二绝缘层形成于所述第一绝缘层上；

S3、在所述栅极绝缘层上依次形成金属层和光阻层；

S4、以所述光阻层为遮挡对所述金属层进行蚀刻，得到栅极层，并去除所述金属层中未被所述光阻层遮挡的部分；