[发明专利]翻转装置

说明书

本申请公开一种翻转装置，其用于将挂在挂具上的载具取下或将载具挂在挂具上。该翻转装置包括：接料机构，用于接取载具；升降机构，用于在接料机构处于第一状态时，驱动挂具升降移动或驱动接料机构升降移动，以使载具脱离挂具或使载具与挂具对接；翻转机构，其与接料机构连接并且用于驱动接料机构在第一状态和不同于第一状态的第二状态之间翻转。本申请能够通过处于第一状态的接料机构将悬挂在挂具上的载具固定到该接料机构上，然后由升降机构驱动该挂具移动或驱动该接料机构移动，以使该载具脱离挂具；当该载具脱离挂具后，即可通过翻转机构来驱动接料机构从第一状态翻转至第二状态，进而实现将固定在接料机构上的载具从第一状态翻转至第二状态。

技术领域

本申请属于对载具进行搬运的技术领域，具体涉及一种用于对载具的方位进行改变的翻转装置。

背景技术

载具可用于承载待处理的工件，并可通过中转机构将承载有待处理工件的载具输送到处理设备中。经过处理设备处理的工件可继续承载在载具上，并且可从处理设备输送回至中转机构，再由中转机构输送给下游设备，以便进行工件的上料、下料等操作。

例如，当待处理的工件为硅片时，对硅片进行处理和输送的系统可包括主机和中转机构。该主机可用于对普通硅片(即，未经处理的硅片)进行制备，使得硅片具有高效的导电性。该中转机构可用于向主机提供普通硅片，或自主机接收并携带制备好的硅片向下游设备转移。

为了节约空间，用以承接硅片的载具可在中转机构中竖直进出主机。但是，在对硅片进行上料和下料操作时，载具需要水平放置，以便于取下处理好的硅片，并将新一批的普通硅片置入载具中。

由此，需要有对应的翻转机构，以将载具从中转机构中取下，并将载具翻转至便于下游设备处理的状态，或者是将载具翻转至便于中转机构接收的状态。

发明内容

本申请提供一种翻转装置，以解决将载具在不同状态之间进行翻转的技术问题。

为解决上述技术问题，本申请采用的一个技术方案是：提供一种翻转装置，用于将挂在挂具上的载具取下或将载具挂在挂具上。所述翻转装置包括：接料机构，所述接料机构用于接取所述载具；升降机构，所述升降机构用于在所述接料机构处于第一状态时，驱动所述挂具升降移动或驱动所述接料机构升降移动，以使得所述载具脱离所述挂具，或使得所述载具与所述挂具对接；翻转机构，所述翻转机构与所述接料机构连接并且用于驱动所述接料机构在所述第一状态和不同于所述第一状态的第二状态之间翻转。

可选地，所述接料机构包括接料平台和固定组件，所述接料平台用以承接所述载具，所述固定组件用于将所述载具固定在所述接料平台上。

可选地，所述固定组件包括固定件、第一固定驱动件和第二固定驱动件；当所述接料平台未承接所述载具时，所述固定件不高于所述接料平台的用于接触所述载具的接料面，且所述固定件远离于所述接料平台的接料面；当所述接料平台承接所述载具时，所述第一固定驱动件驱动所述固定件朝向所述接料面运动直至所述固定件突出于所述载具，并且所述第二固定驱动件驱动所述固定件朝向所述载具运动直至所述固定件沿垂直于所述接料面的方向在所述载具上存在投影。

可选地，所述接料平台的对应所述载具下端的一侧设有托料组件，所述托料组件包括托板和托料驱动件；所述托料驱动件用于驱动所述托板而使所述托板从不高于所述接料平台的接料面的位置伸出。

可选地，所述接料平台为传送带组件。

可选地，所述翻转机构包括翻转机架和翻转驱动组件；所述接料机构通过第一转轴可转动地设置在所述翻转机架上，所述翻转驱动组件用于驱动所述接料机构绕所述第一转轴旋转。