[发明专利]一种高基频石英MASE晶片检测装置在审
| 申请号： | 201910658098.2 | 申请日： | 2019-07-20 |
| 公开（公告）号： | CN110244155A | 公开（公告）日： | 2019-09-17 |
| 发明（设计）人： | 喻信东 | 申请（专利权）人： | 湖北泰晶电子科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/00 | 分类号： | G01R31/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 441300 *** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 晶片支撑 探针 底座 晶片检测装置 螺旋调节器 右支架 左支架 测试 基频 石英 光学放大镜 上下调节器 水平调节器 晶片破损 支撑台 检测 | ||
1.一种高基频石英MASE晶片检测装置，包括底座（1），所述底座（1）上设置有晶片支撑台（2），所述晶片支撑台（2）通过水平调节器（3）固定在支撑台基座（4）上，所述晶片支撑台（2）的下方设置有测试下探针（5）和下探针上下调节器（6），其特征在于：所述晶片支撑台（2）两侧的底座（1）上分别安装有左支架（7）和右支架（8），所述右支架（8）上安装有光学放大镜（9），所述左支架（7）上安装有高精度螺旋调节器（10），所述高精度螺旋调节器（10）的底部安装有测试上探针（11），所述测试上探针（11）位于晶片支撑台（2）的正上方。
2.根据权利要求1所述的一种高基频石英MASE晶片检测装置，其特征在于：所述高精度螺旋调节器（10）包括位于调节器顶部的粗调旋钮（12）和细调旋钮（13），所述细调旋钮（13）位于粗调旋钮（12）上方并套接在粗调旋钮（12）内，所述粗调旋钮（12）底部与调节器伸出顶杆（14）固定连接，所述调节器伸出顶杆（14）的底部与链接臂（15）固定连接，所述链接臂（15）的内部安装有弹簧导柱（16），所述测试上探针（11）固定连接在弹簧导柱（16）的底部。
3.根据权利要求2所述的一种高基频石英MASE晶片检测装置，其特征在于：所述左支架（7）上固定有调节支撑导柱（17），所述调节支撑导柱（17）与调节器伸出顶杆（14）上方的套筒固定连接，调节支撑导柱（17）上设置有上下滑轨（18），所述链接臂（15）与上下滑轨（18）滑动连接。
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