[发明专利]一种光罩、阵列基板及其制作方法在审
申请号: | 201910659215.7 | 申请日: | 2019-07-22 |
公开(公告)号: | CN110398848A | 公开(公告)日: | 2019-11-01 |
发明(设计)人: | 陈方甫 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 |
主分类号: | G02F1/13 | 分类号: | G02F1/13;G02F1/1362;G03F1/38;H01L21/77 |
代理公司: | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人: | 黄威 |
地址: | 518132 广东省深*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 子线路图案 虚拟线路 图案 主图案 光罩 闸极 面积相等 长宽比 制程 产品品质 大小差异 黄光制程 技术效果 驱动线路 阵列基板 驱动 均一性 沟道 减小 制作 生产 | ||
1.一种光罩,其特征在于,包括:
主图案区域,所述主图案区域内包括位于其一端的第一子线路图案,和位于相对另一端的第二子线路图案;以及,
位于所述主图案区域外的:
第一虚拟线路图案,与所述第一子线路图案相邻;
第二虚拟线路图案,与所述第二子线路图案相邻;
其中,所述第一虚拟线路图案与所述第一子线路图案的长宽比相同且面积相等,所述第二虚拟线路图案与所述第二子线路图案的长宽比相同且面积相等。
2.如权利要求1所述的光罩,其特征在于,所述主图案区域的尺寸大小与子玻璃基板的尺寸大小相同。
3.如权利要求1所述的光罩,其特征在于,所述第一虚拟线路图案与所述第一子线路图案的走线密度和形状均相同;所述第二虚拟线路图案与所述第二子线路图案的走线密度和形状均相同。
4.一种使用权利要求1至3任一项所述的光罩制备阵列基板的方法,其特征在于,包括步骤:
S10,提供母玻璃基板,所述母玻璃基板包括至少两排子玻璃基板,所述子玻璃基板表面形成有金属层,所述金属层表面形成有光阻层;
S20,将所述光罩置于任意一排、任意一片所述子玻璃基板的光阻层之上,并使得所述光罩的所述主图案区域的边缘与该所述子玻璃基板边缘对齐,且使用挡板遮挡位于两排所述子玻璃基板之间的虚拟线路图案;
S30,对该所述子玻璃基板进行曝光处理,显影后形成光阻图案层,之后对该所述子玻璃基板进行刻蚀处理,形成金属图案层;
S40,重复步骤S20和S30,完成剩余的所述子玻璃基板的黄光制程。
5.如权利要求4所述的制备阵列基板的方法,其特征在于,在步骤S30中,监控所述子线路图案对应的光阻厚度。
6.如权利要求4所述的阵列基板的制作方法,其特征在于,在步骤S30中,使所述阵列基板边缘的光阻厚度与中间光阻厚度达到一致。
7.如权利要求4所述的阵列基板的制作方法,其特征在于,在步骤S40中,所述光罩与所述挡板同时移动至下一片所述子玻璃基板进行黄光制程。
8.一种使用权利要求1至3任一项所述的光罩制成的阵列基板,其特征在于,包括:至少两组相对设置的子玻璃基板;所述子玻璃基板至少包括两个闸极驱动线路模块,所述两个闸极驱动线路模块位于所述子玻璃基板的两侧;
其中,所述阵列基板的边缘设置有与所述闸极驱动线路模块一一对应的闸极驱动线路复制模块。
9.如权利要求8所述的阵列基板,其特征在于,所述闸极驱动线路复制模块与所述闸极驱动线路模块的密度、形状均相同。
10.如权利要求8所述的阵列基板,其特征在于,所述子玻璃基板还包括数据线,所述数据线用于连接所述两个闸极驱动线路模块。
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