[发明专利]一种光罩、阵列基板及其制作方法

说明书

本发明提供一种光罩，包括：主图案区域，所述主图案区域内包括位于其一端的第一子线路图案和位于相对另一端的第二子线路图案；以及位于所述主图案区域外的：第一虚拟线路图案，与所述第一子线路图案相邻；第二虚拟线路图案，与所述第二子线路图案相邻；其中，所述第一虚拟线路图案与所述第一子线路图案的长宽比相同且面积相等，所述第二虚拟线路图案与所述第二子线路图案的长宽比相同且面积相等；有益效果：本发明通过在新产品光罩制作中，在闸极驱动线路图案旁加入同密度和形状的虚拟线路图案进行黄光制程，可提高闸极驱动在生产制程中的均一性，减小GOA制程闸极驱动沟道大小差异，达到提升产品品质的技术效果。

技术领域

本发明涉及显示技术领域，尤其涉及一种光罩、阵列基板及其制作方法。

背景技术

近些年来，业界液晶面板GOA(Gate Driver on Array，中文简称：闸极驱动在阵列基板上)设计因可降低液晶面板驱动耗材成本，广泛应用在液晶大尺寸面板上，随着液晶面板尺寸的增加及解析度需求的提高，闸极驱动在阵列基板制程中的金属线路的密度及厚度增大，导致闸极驱动在生产制程中均一性控制难度增加。

因产品金属线路的密度及厚度，受产品制程在玻璃基板排布影响，以及GOA器件在制作过程中受负载差异作用，导致闸级驱动器件左右两边沟道大小出现差异，从而影响充入像素的电压大小，导致产品闸级驱动差异，影响产品品质，差异趋势为：①随产品闸级驱动金属线路越厚差异越大；②随产品闸级驱动金属密度越大差异越大。目前制程无法解决此差异。

综上所述，现有技术的阵列基板，由于金属线路密度及厚度增大，导致闸极驱动在生产制程中均一性控制难度增加，造成闸级驱动器件左右两边沟道大小出现差异，从而影响充入像素的电压大小，导致产品闸级驱动差异，影响产品品质。故，有必要提供一种新型的光罩、阵列基板及其制作方法来改善这一缺陷。

发明内容

本发明实施例提供一种光罩、阵列基板及其制作方法，用于解决现有技术由于金属线路密度及厚度增大，导致闸极驱动在生产制程中均一性控制难度增加，造成闸级驱动器件左右两边沟道大小出现差异，从而影响充入像素的电压大小，导致产品闸级驱动差异，影响产品品质的技术问题。

本发明实施例提供一种光罩，包括：主图案区域，所述主图案区域内包括位于其一端的第一子线路图案，和位于相对另一端的第二子线路图案；以及，

位于所述主图案区域外的：

第一虚拟线路图案，与所述第一子线路图案相邻；

第二虚拟线路图案，与所述第二子线路图案相邻；

其中，所述第一虚拟线路图案与所述第一子线路图案的长宽比相同且面积相等，所述第二虚拟线路图案与所述第二子线路图案的长宽比相同且面积相等。

根据本发明一优选实施例，所述主图案区域的尺寸大小与子玻璃基板的尺寸大小相同。

根据本发明一优选实施例，所述第一虚拟线路图案与所述第一子线路图案的走线密度和形状均相同；所述第二虚拟线路图案与所述第二子线路图案的走线密度和形状均相同。

本发明实施例提供一种使用上述光罩制备阵列基板的方法，包括步骤：

S10，提供母玻璃基板，所述母玻璃基板包括至少两排子玻璃基板，所述子玻璃基板表面形成有金属层，所述金属层表面形成有光阻层；

S20，将所述光罩置于任意一排、任意一片所述子玻璃基板的光阻层之上，并使得所述光罩的所述主图案区域的边缘与该所述子玻璃基板边缘对齐，且使用挡板遮挡位于两排所述子玻璃基板之间的虚拟线路图案；

S30，对该所述子玻璃基板进行曝光处理，显影后形成光阻图案层，之后对该所述子玻璃基板进行刻蚀处理，形成金属图案层；

S40，重复步骤S20和S30，完成剩余的所述子玻璃基板的黄光制程。