[发明专利]一种半导体封装结构及封装方法有效

专利信息
申请号: 201910662093.7 申请日: 2019-07-22
公开(公告)号: CN110416125B 公开(公告)日: 2021-07-20
发明(设计)人: 刘俊萍;任晓伟 申请(专利权)人: 扬州爱迪秀自动化科技有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;H01L21/683;H01L21/60
代理公司: 上海智力专利商标事务所(普通合伙) 31105 代理人: 周涛
地址: 225000 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 半导体 封装 结构 方法
【权利要求书】:

1.一种半导体封装结构,包括加热座(1),其特征在于:所述加热座(1)的为半圆柱体结构,且加热座(1)上设置有位置调节组件(2),所述加热座(1)的一侧设置有真空吸附组件(3),所述加热座(1)的顶部通过焊接固定有抽气管道(4),且抽气管道(4)伸入加热座(1)的内部,所述位置调节组件(2)包括横向推钮(21)、纵向推钮(22)、横向推杆(211)、纵向推杆(221)、第一弹簧(213)、第二弹簧(223)、第一凸块(212)和第二凸块(222),所述横向推钮(21)的一端连接有横向推杆(211),所述横向推杆(211)穿过加热座(1),所述横向推杆(211)的一端连接有第一弹簧(213),且第一弹簧(213)的另一端与加热座(1)的侧方内壁相连接,所述纵向推钮(22)的一端连接有纵向推杆(221),所述纵向推杆(221)的一端连接有第二弹簧(223),所述第二弹簧(223)的另一端与加热座(1)的底部内壁相连接,所述加热座(1)的顶部均匀开设有滑槽(12),且纵向推杆(221)与滑槽(12)的内壁组成滑动副,所述真空吸附组件(3)包括真空吸头(31)、限位槽(312)、弹性压板(33)、第一定位杆(35)、第二定位杆(351)、弹性卡夹(36)、第三弹簧(37),推动相应坐标的横向推钮(21)和纵向推钮(22),只有当交叉的横向推钮(21)与纵向推钮(22)都被推入时,纵向推杆(221)才会被向弹性压板(33)处挤压,之后由于第二弹簧(223)和第一弹簧(213)的恢复力,横向推杆(211)和纵向推杆(221)回复原状;当推动横向推杆(211)与纵向推杆(221)时,第二凸块(222)与第一凸块(212)相接触,使纵向推杆(221)移动至极限位置,并挤压弹性压板(33);当弹性压板(33)受到挤压时,第三弹簧(37)压缩,第一定位杆(35)移动,带动第二定位杆(351)转动,使弹性卡夹(36)受到挤压,第二定位杆(351)脱离限位槽(312),使真空吸头(31)能够平移,当松开时第二定位杆(351)又将限位槽(312)卡住,防止真空吸头(31)移动;使得能够根据芯片的形状调整真空吸头的排布位置。

2.根据权利要求1所述的一种半导体封装结构,其特征在于:所述横向推杆(211)的一侧均匀设置有第一凸块(212),所述纵向推杆(221)的一侧均匀设置有第二凸块(222),所述第二凸块(222)与第一凸块(212)相邻设置,且每个第二凸块(222)与第一凸块(212)一一对应。

3.根据权利要求2所述的一种半导体封装结构,其特征在于:所述真空吸附组件(3)包括真空吸头(31)、限位槽(312)、导向壳(32)、弹性压板(33)、橡胶扣(331)、拱形座(34)、第一定位杆(35)、第二定位杆(351)、第一固定柱(352)、弹性卡夹(36)、第二固定柱(361)和第三弹簧(37),所述加热座(1)的一侧均匀设置有真空吸头(31),所述真空吸头(31)穿过加热座(1)的一侧外壁,所述真空吸头(31)的一侧贯通设置有通孔(311),所述真空吸头(31)的一端贯通连接有伸缩软管(41),所述真空吸头(31)的外部设置有导向壳(32),所述导向壳(32)的一侧对应安装有橡胶扣(331),两个所述橡胶扣(331)之间固定安装有弹性压板(33)。

4.根据权利要求3所述的一种半导体封装结构,其特征在于:所述抽气管道(4)伸入加热座(1)内部的部分设置有若干支管,且各支管与伸缩软管(41)相互贯通。

5.根据权利要求4所述的一种半导体封装结构,其特征在于:所述加热座(1)的一侧设置有加热腔(11),所述加热腔(11)的内部安装有加热管(111)。

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