[发明专利]一种半导体封装结构及封装方法有效
申请号: | 201910662093.7 | 申请日: | 2019-07-22 |
公开(公告)号: | CN110416125B | 公开(公告)日: | 2021-07-20 |
发明(设计)人: | 刘俊萍;任晓伟 | 申请(专利权)人: | 扬州爱迪秀自动化科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/683;H01L21/60 |
代理公司: | 上海智力专利商标事务所(普通合伙) 31105 | 代理人: | 周涛 |
地址: | 225000 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 半导体 封装 结构 方法 | ||
1.一种半导体封装结构,包括加热座(1),其特征在于:所述加热座(1)的为半圆柱体结构,且加热座(1)上设置有位置调节组件(2),所述加热座(1)的一侧设置有真空吸附组件(3),所述加热座(1)的顶部通过焊接固定有抽气管道(4),且抽气管道(4)伸入加热座(1)的内部,所述位置调节组件(2)包括横向推钮(21)、纵向推钮(22)、横向推杆(211)、纵向推杆(221)、第一弹簧(213)、第二弹簧(223)、第一凸块(212)和第二凸块(222),所述横向推钮(21)的一端连接有横向推杆(211),所述横向推杆(211)穿过加热座(1),所述横向推杆(211)的一端连接有第一弹簧(213),且第一弹簧(213)的另一端与加热座(1)的侧方内壁相连接,所述纵向推钮(22)的一端连接有纵向推杆(221),所述纵向推杆(221)的一端连接有第二弹簧(223),所述第二弹簧(223)的另一端与加热座(1)的底部内壁相连接,所述加热座(1)的顶部均匀开设有滑槽(12),且纵向推杆(221)与滑槽(12)的内壁组成滑动副,所述真空吸附组件(3)包括真空吸头(31)、限位槽(312)、弹性压板(33)、第一定位杆(35)、第二定位杆(351)、弹性卡夹(36)、第三弹簧(37),推动相应坐标的横向推钮(21)和纵向推钮(22),只有当交叉的横向推钮(21)与纵向推钮(22)都被推入时,纵向推杆(221)才会被向弹性压板(33)处挤压,之后由于第二弹簧(223)和第一弹簧(213)的恢复力,横向推杆(211)和纵向推杆(221)回复原状;当推动横向推杆(211)与纵向推杆(221)时,第二凸块(222)与第一凸块(212)相接触,使纵向推杆(221)移动至极限位置,并挤压弹性压板(33);当弹性压板(33)受到挤压时,第三弹簧(37)压缩,第一定位杆(35)移动,带动第二定位杆(351)转动,使弹性卡夹(36)受到挤压,第二定位杆(351)脱离限位槽(312),使真空吸头(31)能够平移,当松开时第二定位杆(351)又将限位槽(312)卡住,防止真空吸头(31)移动;使得能够根据芯片的形状调整真空吸头的排布位置。
2.根据权利要求1所述的一种半导体封装结构,其特征在于:所述横向推杆(211)的一侧均匀设置有第一凸块(212),所述纵向推杆(221)的一侧均匀设置有第二凸块(222),所述第二凸块(222)与第一凸块(212)相邻设置,且每个第二凸块(222)与第一凸块(212)一一对应。
3.根据权利要求2所述的一种半导体封装结构,其特征在于:所述真空吸附组件(3)包括真空吸头(31)、限位槽(312)、导向壳(32)、弹性压板(33)、橡胶扣(331)、拱形座(34)、第一定位杆(35)、第二定位杆(351)、第一固定柱(352)、弹性卡夹(36)、第二固定柱(361)和第三弹簧(37),所述加热座(1)的一侧均匀设置有真空吸头(31),所述真空吸头(31)穿过加热座(1)的一侧外壁,所述真空吸头(31)的一侧贯通设置有通孔(311),所述真空吸头(31)的一端贯通连接有伸缩软管(41),所述真空吸头(31)的外部设置有导向壳(32),所述导向壳(32)的一侧对应安装有橡胶扣(331),两个所述橡胶扣(331)之间固定安装有弹性压板(33)。
4.根据权利要求3所述的一种半导体封装结构,其特征在于:所述抽气管道(4)伸入加热座(1)内部的部分设置有若干支管,且各支管与伸缩软管(41)相互贯通。
5.根据权利要求4所述的一种半导体封装结构,其特征在于:所述加热座(1)的一侧设置有加热腔(11),所述加热腔(11)的内部安装有加热管(111)。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造