[发明专利]一种封装结构及封装方法在审
申请号: | 201910662160.5 | 申请日: | 2019-07-22 |
公开(公告)号: | CN110896036A | 公开(公告)日: | 2020-03-20 |
发明(设计)人: | 尹佳山;周祖源;吴政达;林正忠 | 申请(专利权)人: | 中芯长电半导体(江阴)有限公司 |
主分类号: | H01L21/56 | 分类号: | H01L21/56;H01L23/31;H01L23/485;H01L21/60 |
代理公司: | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人: | 余明伟 |
地址: | 214437 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 封装 结构 方法 | ||
1.一种封装方法,其特征在于,包括步骤:
提供一支撑基底,于所述支撑基底的上表面形成封装层;
采用化学镀于所述封装层的上表面形成化学镀种子层;
于所述化学镀种子层的上表面形成焊盘,所述焊盘之间裸露所述化学镀种子层;
去掉裸露部分的所述化学镀种子层;
采用打线工艺于所述焊盘的上方连接金属线。
2.根据权利要求1所述的封装方法,其特征在于:形成所述焊盘的方法包括:于所述化学镀种子层的上表面形成图形化的掩膜层,所述掩膜层具有第一窗口,所述第一窗口显露所述化学镀种子层;于所述第一窗口内形成金属层;去掉所述掩膜层,以形成所述焊盘。
3.根据权利要求2所述的封装方法,其特征在于:所述掩膜层包括光刻胶,形成所述图形化的光刻胶的方法包括光刻工艺。
4.根据权利要求2所述的封装方法,其特征在于:形成所述金属层的方法包括电镀。
5.根据权利要求1所述的封装方法,其特征在于:所述焊盘的材质包括铜、铝、镍、金、银、钛中的一种或两种以上组合。
6.根据权利要求1所述的封装方法,其特征在于:所述焊盘的厚度介于3μm~15μm之间。
7.根据权利要求1所述的封装方法,其特征在于:所述化学镀种子层的材质包括铜、铝、镍、金、银、钛中的一种或两种以上组合。
8.根据权利要求1所述的封装方法,其特征在于:所述化学镀种子层的厚度介于180nm~220nm之间。
9.根据权利要求1所述的封装方法,其特征在于:所述封装层的材质包括环氧树脂、硅胶、PI、PBO、BCB、氧化硅、磷硅玻璃,含氟玻璃中的一种或两种以上组合。
10.根据权利要求1所述的封装方法,其特征在于:形成所述封装层的方法包括塑封工艺、压缩成型、传递模塑成型、液封成型、真空层压及旋涂中的一种。
11.根据权利要求1所述的封装方法,其特征在于:所述支撑基底的材质包括玻璃衬底、金属衬底、半导体衬底、聚合物衬底及陶瓷衬底中的一种,所述支撑基底的厚度介于800μm~1200μm之间。
12.根据权利要求1所述的封装方法,其特征在于:去掉裸露部分的所述化学镀种子层的方法包括化学刻蚀工艺。
13.根据权利要求1所述的封装方法,其特征在于:所述金属线包括金线、铜线中的一种。
14.一种封装结构,其特征在于,包括:
支撑基底;
封装层,形成于所述支撑基底上;
图形化的化学镀种子层,形成于所述封装层的表面;
焊盘,形成于所述化学镀种子层的表面;
金属线,连接于所述焊盘上。
15.根据权利要求14所述的封装结构,其特征在于:所述焊盘的厚度介于3μm~15μm之间。
16.根据权利要求14所述的封装结构,其特征在于:所述化学镀种子层的厚度介于180nm~220nm之间。
17.根据权利要求14所述的封装结构,其特征在于:所述支撑基底的厚度介于800μm~1200μm之间。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造