[发明专利]一种封装结构及封装方法在审

专利信息
申请号: 201910662160.5 申请日: 2019-07-22
公开(公告)号: CN110896036A 公开(公告)日: 2020-03-20
发明(设计)人: 尹佳山;周祖源;吴政达;林正忠 申请(专利权)人: 中芯长电半导体(江阴)有限公司
主分类号: H01L21/56 分类号: H01L21/56;H01L23/31;H01L23/485;H01L21/60
代理公司: 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 代理人: 余明伟
地址: 214437 江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 封装 结构 方法
【权利要求书】:

1.一种封装方法,其特征在于,包括步骤:

提供一支撑基底,于所述支撑基底的上表面形成封装层;

采用化学镀于所述封装层的上表面形成化学镀种子层;

于所述化学镀种子层的上表面形成焊盘,所述焊盘之间裸露所述化学镀种子层;

去掉裸露部分的所述化学镀种子层;

采用打线工艺于所述焊盘的上方连接金属线。

2.根据权利要求1所述的封装方法,其特征在于:形成所述焊盘的方法包括:于所述化学镀种子层的上表面形成图形化的掩膜层,所述掩膜层具有第一窗口,所述第一窗口显露所述化学镀种子层;于所述第一窗口内形成金属层;去掉所述掩膜层,以形成所述焊盘。

3.根据权利要求2所述的封装方法,其特征在于:所述掩膜层包括光刻胶,形成所述图形化的光刻胶的方法包括光刻工艺。

4.根据权利要求2所述的封装方法,其特征在于:形成所述金属层的方法包括电镀。

5.根据权利要求1所述的封装方法,其特征在于:所述焊盘的材质包括铜、铝、镍、金、银、钛中的一种或两种以上组合。

6.根据权利要求1所述的封装方法,其特征在于:所述焊盘的厚度介于3μm~15μm之间。

7.根据权利要求1所述的封装方法,其特征在于:所述化学镀种子层的材质包括铜、铝、镍、金、银、钛中的一种或两种以上组合。

8.根据权利要求1所述的封装方法,其特征在于:所述化学镀种子层的厚度介于180nm~220nm之间。

9.根据权利要求1所述的封装方法,其特征在于:所述封装层的材质包括环氧树脂、硅胶、PI、PBO、BCB、氧化硅、磷硅玻璃,含氟玻璃中的一种或两种以上组合。

10.根据权利要求1所述的封装方法,其特征在于:形成所述封装层的方法包括塑封工艺、压缩成型、传递模塑成型、液封成型、真空层压及旋涂中的一种。

11.根据权利要求1所述的封装方法,其特征在于:所述支撑基底的材质包括玻璃衬底、金属衬底、半导体衬底、聚合物衬底及陶瓷衬底中的一种,所述支撑基底的厚度介于800μm~1200μm之间。

12.根据权利要求1所述的封装方法,其特征在于:去掉裸露部分的所述化学镀种子层的方法包括化学刻蚀工艺。

13.根据权利要求1所述的封装方法,其特征在于:所述金属线包括金线、铜线中的一种。

14.一种封装结构,其特征在于,包括:

支撑基底;

封装层,形成于所述支撑基底上;

图形化的化学镀种子层,形成于所述封装层的表面;

焊盘,形成于所述化学镀种子层的表面;

金属线,连接于所述焊盘上。

15.根据权利要求14所述的封装结构,其特征在于:所述焊盘的厚度介于3μm~15μm之间。

16.根据权利要求14所述的封装结构,其特征在于:所述化学镀种子层的厚度介于180nm~220nm之间。

17.根据权利要求14所述的封装结构,其特征在于:所述支撑基底的厚度介于800μm~1200μm之间。

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