[发明专利]显示装置制造方法及显示装置制造系统

权利要求书

1.显示装置制造方法，包括：

准备衬底；

在所述衬底上形成包括至少一个第一电极的显示器初级结构；

将上面形成有所述显示器初级结构的所述衬底布置在处理腔室中，并且在保持所述处理腔室中的压力气氛低于大气压力的同时将紫外线照射到所述衬底上；

在所述显示器初级结构上形成中间层，所述中间层包括发光层；以及

在所述中间层上形成第二电极。

2.如权利要求1中所述的显示装置制造方法，其中，所述处理腔室中的所述压力气氛低于或等于0.01Pa。

3.如权利要求1中所述的显示装置制造方法，其中，照射所述紫外线包括：照射具有小于或等于480nm的波长范围的紫外线。

4.如权利要求1中所述的显示装置制造方法，其中，照射所述紫外线被执行的时间小于或等于1小时。

5.如权利要求1中所述的显示装置制造方法，其中，照射所述紫外线包括：在将上面形成有所述显示器初级结构的所述衬底布置在所述处理腔室中之后，通过使用面向所述衬底的紫外线照射器照射所述紫外线。

6.如权利要求1中所述的显示装置制造方法，其中，照射所述紫外线包括：通过使用面向所述衬底的多个紫外线照射器照射所述紫外线。

7.如权利要求1中所述的显示装置制造方法，还包括：在照射所述紫外线期间通过使用加热器加热所述处理腔室。

8.如权利要求1中所述的显示装置制造方法，还包括：在照射所述紫外线期间照射红外线。

9.如权利要求1中所述的显示装置制造方法，还包括：在将上面形成有所述显示器初级结构的所述衬底布置在所述处理腔室中之前，在上面形成有所述显示器初级结构的所述衬底上执行清洁工艺。

10.如权利要求1中所述的显示装置制造方法，还包括：在照射所述紫外线之后并且在形成所述中间层之前，在上面形成有所述显示器初级结构的所述衬底上执行清洁工艺。

11.如权利要求1中所述的显示装置制造方法，还包括：在将上面形成有所述显示器初级结构的所述衬底布置在所述处理腔室中之前，在上面形成有所述显示器初级结构的所述衬底上执行热处理工艺。

12.如权利要求1中所述的显示装置制造方法，其中，形成所述显示器初级结构包括：在所述至少一个第一电极上形成像素限定层，使得所述至少一个第一电极的预定区域被暴露。

13.如权利要求1中所述的显示装置制造方法，其中，形成所述显示器初级结构包括：形成电连接至所述至少一个第一电极的薄膜晶体管。

14.如权利要求1中所述的显示装置制造方法，还包括：在形成所述第二电极之后，在所述第二电极上形成封装部分。

15.显示装置制造系统，包括：

处理腔室，设置成使得衬底能够布置在所述处理腔室中；以及

紫外线照射器，用于将紫外线照射到所述衬底上，

其中，当所述衬底处于所述处理腔室中时，所述处理腔室的内部保持低于或等于大气压力的压力气氛。

16.如权利要求15中所述的显示装置制造系统，其中，所述处理腔室通过连接到泵来控制压力。

17.如权利要求15中所述的显示装置制造系统，其中，所述紫外线照射器包括多个紫外线照射器。

18.如权利要求15中所述的显示装置制造系统，还包括：

加热器，用于在所述衬底处于所述处理腔室中时加热所述衬底。