[发明专利]显示装置制造方法及显示装置制造系统

说明书

公开了显示装置制造方法及显示装置制造系统，该显示装置制造方法包括：准备衬底；在衬底上形成包括至少一个第一电极的显示器初级结构；将其上形成有显示器初级结构的衬底布置在处理腔室中，并且在保持处理腔室中的压力气氛低于大气压力的同时将紫外线照射到衬底上；在显示器初级结构上形成中间层，中间层包括发光层；以及在中间层上形成第二电极。

相关申请的交叉引用

在韩国知识产权局于2018年7月24日提交的第10-2018-0085927号且名称为“显示装置制造方法和显示装置制造系统”的韩国专利申请通过引用以其整体并入本文中。

技术领域

一个或多个实施方式涉及显示装置制造方法和显示装置制造系统。

背景技术

近来，显示装置的使用已经多样化。具体地，显示装置可以具有小的厚度并且可以是轻质的。因此，显示装置的使用范围正在扩展。

发明内容

实施方式涉及显示装置制造方法，显示装置制造方法包括：准备衬底；在衬底上形成包括至少一个第一电极的显示器初级结构；将其上形成有显示器初级结构的衬底布置在处理腔室中，并且在保持处理腔室中的压力气氛低于大气压力的同时将紫外线照射到衬底上；在显示器初级结构上形成中间层，中间层包括发光层；以及在中间层上形成第二电极。

处理腔室中的压力气氛可低于或等于0.01Pa。

照射紫外线可包括照射具有小于或等于480nm的波长范围的紫外线。

照射紫外线可执行小于或等于1小时的时间。

照射紫外线可包括：在将其上形成有显示器初级结构的衬底布置在处理腔室中之后，通过使用面向衬底的紫外线照射器照射紫外线。

照射紫外线可包括：通过使用面向衬底的多个紫外线照射器照射紫外线。

显示装置制造方法还可包括：在照射紫外线期间，通过使用加热器加热处理腔室。

显示装置制造方法还可包括：在照射紫外线期间照射红外线。

显示装置制造方法还可包括：在将其上形成有显示器初级结构的衬底布置在处理腔室中之前，在其上形成有显示器初级结构的衬底上执行清洁工艺。

显示装置制造方法还可包括：在照射紫外线之后并且在形成中间层之前，在其上形成有显示器初级结构的衬底上执行清洁工艺。

显示装置制造方法还可包括：在将其上形成有显示器初级结构的衬底布置在处理腔室中之前，在其上形成有显示器初级结构的衬底上执行热处理工艺。

形成显示器初级结构可包括：在至少一个第一电极上形成像素限定层，使得暴露至少一个第一电极的区域。

形成显示器初级结构可包括：形成电连接到至少一个第一电极的薄膜晶体管。

显示装置制造方法还可包括：在形成第二电极之后，在第二电极上形成封装部分。

实施方式还涉及显示装置制造系统，显示装置制造系统包括处理腔室和紫外线照射器，其中，处理腔室设置成使得衬底能够布置在处理腔室中，紫外线照射器用于将紫外线照射到衬底上。当衬底处于处理腔室中时，处理腔室的内部可保持低于或等于大气压力的压力气氛。

处理腔室可通过连接到泵来控制压力。

紫外线照射器可包括多个紫外线照射器。

显示装置制造系统还可包括加热器，用于在衬底处于处理腔室中时加热衬底。

显示装置制造系统还可包括红外线照射器，用于在衬底布置在处理腔室中时将红外线照射到衬底上。

紫外线照射器可照射处于小于或等于480nm的波长范围中的紫外线。