[发明专利]一种曝光机的光源在审

专利信息
申请号: 201910665574.3 申请日: 2019-07-23
公开(公告)号: CN110376851A 公开(公告)日: 2019-10-25
发明(设计)人: 陈志特;王华;高剑;曾雪华 申请(专利权)人: 东莞科视自动化科技有限公司
主分类号: G03F7/20 分类号: G03F7/20
代理公司: 东莞市中正知识产权事务所(普通合伙) 44231 代理人: 成伟
地址: 523000 广东省东莞*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 光路修正 光源 平行光 曝光机 中心轴 光路 环形槽中心 螺旋状方式 方向平行 光学聚光 光学模组 近似矩形 面阵光源 高能量 环形槽 透光 部侧 连线 面阵 杂光 平行 穿过 修正
【权利要求书】:

1.一种曝光机的光源,其特征在于:依次设有光源(1)、平行光组件(2)、光路修正组件(3);

所述光源(1)的光路依次穿过所述平行光组件(2)和光路修正组件(3);

所述平行光组件(2)的光路方向平行于所述光路修正组件(3)的中心轴;

所述光路修正组件(3)的透光部(30)侧壁设有若干环形槽(31);所述环形槽(31)中心的连线平行于所述光路修正组件(3)的中心轴。

2.根据权利要求1所述的一种曝光机的光源,其特征在于:所述平行光组件(2)包括的主光轴相互平行的一级透镜(21)和二级透镜(22)。

3.根据权利要求2所述的一种曝光机的光源,其特征在于:所述一级透镜(21)位于所述光源(1)与所述二级透镜(22)之间。

4.根据权利要求1所述的一种曝光机的光源,其特征在于:若干个所述环形槽(31)相互连通形成螺旋槽(300)。

5.根据权利要求4所述的一种曝光机的光源,其特征在于:所述螺旋槽(300)的中心轴平行于所述光路修正组件(3)的中心轴。

6.根据权利要求1所述的一种曝光机的光源,其特征在于:所述平行光组件(2)的主光轴和所述光路修正组件(3)的中心轴平行;所述透光部(30)为开设在光路修正组件(3)的通孔。

7.根据权利要求6所述的一种曝光机的光源,其特征在于:所述光路修正组件(3)的多个所述透光部(30)呈矩阵形排列。

8.根据权利要求1所述的一种曝光机的光源,其特征在于:所述二级透镜(22)为双面凸透镜;所述二级透镜(22)的第一凸透部(221)和第二凸透部(222)设置在所述二级透镜主体(220)两端;所述一级透镜(21)的一端面外凸形成第三凸透部(211)。

9.根据权利要求8所述的一种曝光机的光源,其特征在于:所述第二凸透部(222)位于所述第一凸透部(221)和所述第三凸透部(211)之间;所述光源(1)位于所述一级透镜(21)远离所述第三凸透部(211)的一端。

10.根据权利要求8所述的一种曝光机的光源,其特征在于:所述二级透镜(22)厚度为3.3cm,第一凸透部(221)厚度为1cm,第二凸透部(222)厚度为0.5cm;所述第三凸透部(211)厚度为2.24cm。

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