[发明专利]一种曝光机的光源在审
申请号: | 201910665574.3 | 申请日: | 2019-07-23 |
公开(公告)号: | CN110376851A | 公开(公告)日: | 2019-10-25 |
发明(设计)人: | 陈志特;王华;高剑;曾雪华 | 申请(专利权)人: | 东莞科视自动化科技有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
代理公司: | 东莞市中正知识产权事务所(普通合伙) 44231 | 代理人: | 成伟 |
地址: | 523000 广东省东莞*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 光路修正 光源 平行光 曝光机 中心轴 光路 环形槽中心 螺旋状方式 方向平行 光学聚光 光学模组 近似矩形 面阵光源 高能量 环形槽 透光 部侧 连线 面阵 杂光 平行 穿过 修正 | ||
一种曝光机的光源,依次设有光源、平行光组件、光路修正组件;所述光源的光路依次穿过所述平行光组件和光路修正组件;所述平行光组件的光路方向平行于所述光路修正组件的中心轴;所述光路修正组件的透光部侧壁设有若干环形槽;所述环形槽中心的连线平行于所述光路修正组件的中心轴。有益效果是:采用螺旋状方式对光路进行了修正,使得LED的光束经过光学聚光后,光束纯正,无杂光;光学模组采用面阵方式排列成矩形或近似矩形,形成高能量高准值度的面阵光源。
技术领域
本发明属于PCB制造设备领域领域,尤其一种曝光机光源机构。
背景技术
印制电路板(PCB板)制造工艺中,最关键的工序之一就是将底片图像转移到基材上。先在基板上涂覆一层感光材料(如液态感光胶、光敏抗蚀干膜等),然后对涂覆在基材上的感光材料进行光辐射,使其溶解性发生变化。未感光部分的树脂没有聚合,在显影液作用下溶解,感光部分的感光材料发生聚合反应固化在基材上形成图像,这一工艺过程即是曝光,也就是印制电路板生产中由曝光机完成的工序。
在PCB及微电子器件的制造设备中,曝光机的研制至关重要。随着电子产业的快速发展,尤其是手机、平板电视、摄像机等家电领域产品以及微型机器人、微型飞行器、微型鱼雷等微型武器产品,都表明高精度高解析度LED曝光机有着广泛的应用前景和巨大的应用潜力,但到目前为止,现有的LED曝光机还不能满足高精度高解析度(50μm)PCB的需求。
发明内容
为了解决上述问题,本发明采用如下技术方案:
一种曝光机的光源,依次设有光源、平行光组件、光路修正组件;
所述光源的光路依次穿过所述平行光组件和光路修正组件;
所述平行光组件的光路方向平行于所述光路修正组件的中心轴;
所述光路修正组件的透光部侧壁设有若干环形槽;所述环形槽中心的连线平行于所述光路修正组件的中心轴。
优选的,所述平行光组件包括的主光轴相互平行的一级透镜和二级透镜。
优选的,所述一级透镜位于所述光源与所述二级透镜之间。
优选的,若干个所述环形槽相互连通形成螺旋槽。
优选的,所述螺旋槽的中心轴平行于所述光路修正组件的中心轴。
优选的,所述平行光组件的主光轴和所述光路修正组件中心轴重合。
优选的,所述透光部为开设在光路修正组件的通孔。
优选的,多个所述透光部所述光路修正组件呈矩阵形排列。
优选的,所述二级透镜为双面凸透镜;所述二级透镜的第一凸透部和第二凸透部设置在所述二级透镜主体两端;所述一级透镜的一端面外凸形成第三凸透部。
优选的,所述第二凸透部位于所述第一凸透部和所述第三凸透部之间;所述光源位于所述一级透镜远离所述第三凸透部的一端。
优选的,所述二级透镜厚度为3.3cm,第一凸透部厚度为1cm,第二凸透部厚度为0.5cm;所述第三凸透部厚度为2.24cm。
本发明的有益效果是:
1.采用螺旋状方式对光路进行了修正,使得LED的光束经过光学聚光后,光束纯正,无杂光;
2.光学模组采用面阵方式排列成矩形或近似矩形,形成高能量高准值度的面阵光源;
3.此双透镜能量变化相差不大,对比解析参数效果更好。
附图说明
图1为本发明结构示意图;
图2为本发明一整排列示意图;
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