[发明专利]一种电解电容器用电子铝箔法向EBSD分析的样品制备方法在审
| 申请号： | 201910666039.X | 申请日： | 2019-07-23 |
| 公开（公告）号： | CN110455840A | 公开（公告）日： | 2019-11-15 |
| 发明（设计）人： | 汪战胜;陈锦雄;罗向军;汪启桥 | 申请（专利权）人： | 乳源瑶族自治县东阳光化成箔有限公司 |
| 主分类号： | G01N23/2005 | 分类号： | G01N23/2005;G01N23/203 |
| 代理公司： | 44102 广州粤高专利商标代理有限公司 | 代理人： | 陈嘉毅<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
| 地址： | 512700广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 电解电容 电子铝箔 法向 晶粒 电解抛光 关联研究 关系提供 机械抛光 检测分析 晶粒取向 晶体特性 样本制备 样品制备 振动抛光 综合性能 腐蚀箔 树脂 比容 晶界 取样 溶解 镶嵌 腐蚀 达标 研究 | ||
1.一种电解电容器用电子铝箔法向EBSD分析的样品制备方法，其特征在于，包括如下步骤：
S1.取样及镶嵌：将样品用环氧树脂进行镶嵌固化；
S2.机械抛光：用SiC水砂纸及SiO2抛光液依次对样品待测面进行抛光；
S3.振动抛光：使用振动抛光仪进行振动抛光，抛光液为SiO2；
S4.电解抛光：使用高氯酸、乙醇和乙二醇单丁醚混合液作为抛光液进行电解抛光；
S5.溶解树脂：溶解镶嵌环氧树脂，得到最终的待测试样。
2.如权利要求1所述电解电容器用电子铝箔法向EBSD分析的样品制备方法，其特征在于，S2中所述SiC水砂纸抛光为依次使用400#、2000#、5000#SiC水砂纸进行抛光处理，抛光总时间为2～5min。
3.如权利要求2所述电解电容器用电子铝箔法向EBSD分析的样品制备方法，其特征在于，S2中所述SiO2抛光液的粒径为80～100nm，抛光时间为5～10min。
4.如权利要求1所述电解电容器用电子铝箔法向EBSD分析的样品制备方法，其特征在于，S3中所述SiO2抛光液的粒径为50～80nm，时间为150～180min。
5.如权利要求4所述电解电容器用电子铝箔法向EBSD分析方法，其特征在于，S3中所述SiO2抛光液的粒径为50～70nm。
6.如权利要求1所述电解电容器用电子铝箔法向EBSD分析的样品制备方法，其特征在于，S4中高氯酸、乙醇和乙二醇单丁醚的体积比为8:1～1.5:1～1.5。
7.如权利要求6所述电解电容器用电子铝箔法向EBSD分析的样品制备方法，其特征在于，S4中所述电解抛光的电流密度0.05～0.5A/cm2，电压30V，时间5～15S。
8.如权利要求7所述电解电容器用电子铝箔法向EBSD分析的样品制备方法，其特征在于，S4中所述电解抛光的电流密度0.15～0.45A/cm2，时间为5～8S。
9.如权利要求1～8任意一项所述电解电容器用电子铝箔法向EBSD分析的样品制备方法，其特征在于，S5中所述溶解环氧树脂的溶剂为分析纯丙酮，溶解时间为5-10h。
10.如权利要求9任意一项所述电解电容器用电子铝箔法向EBSD分析的样品制备方法，其特征在于，S5中所述溶解时间为10h。
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