[发明专利]一种减小温差的加热器及其制作方法和应用

权利要求书

1.一种减小温差的加热器，包括加热器板，加热器板内设有加热单元，加热单元包括外线圈和内线圈，其特征在于，所述内线圈将加热器板分为上下对称及左右对称的线路分布区域，且线路分布区域内的发热线从加热器板内部到外角区域形成多次折弯的线路形状的模式。

2.根据权利要求1所述减小温差的加热器，其特征在于，所述内线圈的各线路分布区域靠近加热器板纵向中分线一侧的中部发热线之间不连接。

3.根据权利要求2所述减小温差的加热器，其特征在于，所述各线路分布区域靠近加热器板纵向中分线一侧的中部发热线均朝向加热器板的中心点折弯，且以加热器板的中心点呈中心对称分布。

4.根据权利要求1所述减小温差的加热器，其特征在于，所述外线圈的发热线对称分布于加热器板横向中分线的两侧，且靠近加热器板横向中分线的外线圈发热线边缘向内折弯，且所述外线圈发热线边缘之间不连接。

5.根据权利要求4所述减小温差的加热器，其特征在于，所述加热器板横向中分线两侧的外线圈发热线边缘以加热器板纵向中分线相对称设置。

6.根据权利要求4所述减小温差的加热器，其特征在于，所述外线圈为一圈，所述内线圈为六圈，所述内线圈的发热线与发热线之间的间距为101mm，外部线圈与内部线圈的间距为134mm。

7.根据权利要求1所述减小温差的加热器，其特征在于，所述外线圈和内线圈的截面均为直线形状。

8.根据权利要求1-7任一项所述减小温差的加热器的制作方法，其特征在于，所述制作方法是先以基板的中心为中心对称轴进行划分加热单元的各布线区域，之后在基板上挖布线槽，并在布线槽内预埋安装发热线的线壳，然后将发热线和测温导线埋入布线槽的线壳内，最后与基板焊接后得到。

9.采用权利要求1-7任一项所述减小温差的加热器在提高沉积薄膜的膜质均匀性及边角存活率的应用。