[发明专利]一种设有内框架的硅片花篮

权利要求书

1.一种设有内框架的硅片花篮，该硅片花篮的内部空间用于插放竖置硅片，该硅片花篮包括主架体，主架体包括侧围和底架；侧围由一对左右设置的侧架和一对前后设置的端板围成，该对端板竖置且相互平行，该对侧架分别设有可供硅片侧边插放的竖向插槽，且该对侧架相互配合；其特征在于：

所述侧围中还设有可拆卸的内框架；内框架包括：一对前后设置的竖板，以及两端分别与该对竖板连接的平置分隔杆；该对竖板与端板平行；该对竖板架在底架上，且该对竖板的底边分别设有可供底架卡入的定位缺口，底架卡入该对竖板的定位缺口中；分隔杆与竖板垂直，且分隔杆位于底架上方。

2.根据权利要求1所述的设有内框架的硅片花篮，其特征在于，上述一对竖板分别设有用于引导分隔杆端部滑动的导向槽，该对端板上的导向槽对称设置，且导向槽沿左右方向延伸；分隔杆的两端与该对端板上的导向槽分别可拆卸连接。

3.根据权利要求2所述的设有内框架的硅片花篮，其特征在于，所述分隔杆为齿杆。

4.根据权利要求3所述的设有内框架的硅片花篮，其特征在于，任一导向槽中装配有至少两个分隔杆。

5.根据权利要求1所述的设有内框架的硅片花篮，其特征在于，上述一对侧架都为插槽板。

6.根据权利要求1所述的设有内框架的硅片花篮，其特征在于，上述一对侧架分别由多个齿杆组成，同一侧架中的各齿杆位于同一竖直面。