[发明专利]一种衍射光栅保护结构及其制备方法

权利要求书

1.一种衍射光栅保护结构，其特征在于，为多层结构，包括衍射光栅、分离层、反射层、树脂层、保护玻璃；所述分离层、所述反射层、所述树脂层、所述保护玻璃的表面尺寸与所述衍射光栅的表面尺寸相同；

所述分离层采用真空蒸镀的方法镀于所述衍射光栅的表面，所述反射层采用真空蒸镀的方法镀于所述分离层上，将混合有固化剂的环氧树脂均匀涂覆于所述反射层上，所述保护玻璃与所述衍射光栅的表面盖合地铺设于环氧树脂上，环氧树脂固化后形成位于所述反射层与所述保护玻璃间的所述树脂层；

所述分离层的材质为275硅油，所述分离层的厚度小于10nm；

所述反射层为金属反射层；

所述金属反射层的材质为Al、Ag、Au中的任意一种；

所述分离层在刀片切入时使所述衍射光栅与所述保护玻璃分离，实现去保护。

2.根据权利要求1所述的衍射光栅保护结构，其特征在于，所述树脂层采用的环氧树脂为618号环氧树脂或6828号环氧树脂。

3.根据权利要求2所述的衍射光栅保护结构，其特征在于，所述树脂层采用的固化剂为咪唑类固化剂。

4.根据权利要求2所述的衍射光栅保护结构，其特征在于，所述保护玻璃为平板光学玻璃，厚度为1-3mm。

5.根据权利要求1-4任意一项所述的衍射光栅保护结构的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

S1：制备获得所述衍射光栅、准备与所述衍射光栅的表面尺寸相同的所述保护玻璃，清洁后备用；

S2：在所述衍射光栅的表面真空蒸镀所述分离层，将所述衍射光栅置于真空镀膜机中，控制所述真空镀膜机内的真空度在1.0×10^-3Pa以上，将分离层材料真空蒸镀到所述衍射光栅的表面形成所述分离层；

S3：继续真空蒸镀所述反射层，控制所述真空镀膜机内的真空度在1.0×10^-3Pa以上，将反射层材料真空蒸镀到所述分离层上形成所述反射层，取出完成真空蒸镀后衍射光栅；

S4：粘接所述保护玻璃，将环氧树脂与固化剂按比例配制混合均匀，将混合有固化剂的环氧树脂均匀涂覆涂满所述反射层上，将所述保护玻璃与所述衍射光栅的表面盖合地铺设于环氧树脂上，静置固化，实现所述保护玻璃与所述衍射光栅粘接，获得所述衍射光栅保护结构。