[发明专利]一种衍射光栅保护结构及其制备方法有效
申请号: | 201910679696.8 | 申请日: | 2019-07-26 |
公开(公告)号: | CN110488395B | 公开(公告)日: | 2021-03-19 |
发明(设计)人: | 于宏柱;唐玉国;糜小涛;于海利;齐向东;巴音贺希格;李文昊;张善文 | 申请(专利权)人: | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
主分类号: | G02B1/14 | 分类号: | G02B1/14;G02B5/18;C23C14/24 |
代理公司: | 深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙) 44316 | 代理人: | 曹卫良 |
地址: | 130033 吉林省长春*** | 国省代码: | 吉林;22 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 衍射 光栅 保护 结构 及其 制备 方法 | ||
本发明提供了一种衍射光栅保护结构,为多层结构,包括衍射光栅,及表面尺寸与衍射光栅的表面尺寸相同的分离层、反射层、树脂层、保护玻璃;分离层采用真空蒸镀的方法镀于衍射光栅的表面,反射层采用真空蒸镀的方法镀于分离层上,将混合有固化剂的环氧树脂均匀涂覆于反射层上,保护玻璃与衍射光栅的表面盖合地铺设于环氧树脂上,环氧树脂固化后形成位于反射层与保护玻璃间的树脂层。本发明还提供了一种衍射光栅保护结构的制备方法,在衍射光栅的表面依次真空蒸镀分离层、反射层,在反射层上用环氧树脂粘接保护玻璃。本发明的衍射光栅保护结构及其制备方法,对衍射光栅的表面进行有效保护,避免衍射光栅在存储、运输过程中受到污染和损坏。
技术领域
本发明涉及衍射光栅的表面保护技术领域,具体涉及一种衍射光栅保护结构及其制备方法。
背景技术
衍射光栅通过有规律的结构,使入射光的振幅或相位(或两者同时)受到周期性空间调制。衍射光栅在光学上的最重要应用是作为分光器件,常被用于单色仪和光谱仪上。由于衍射光栅具有精细的表面浮雕结构,极易受损,在存储、运输过程中,不仅空气中的水蒸气、操作者的唾液、手指的汗液会污染衍射光栅表面,而且衍射光栅受到外力挤压的情况都会导致衍射光栅形成不可挽回的损坏。所以,在存储、运输衍射光栅的时候首先对其表面进行保护是十分必要的。但是在现有技术中,没有用于存储、运输的衍射光栅的保护方法公开。
鉴于此,亟需研究一种衍射光栅表面的有效保护方法,避免衍射光栅在存储、运输过程中造成的污染和损坏。
发明内容
本发明的目的在于针对现有技术的上述缺陷,提供一种衍射光栅保护结构及其制备方法,对衍射光栅的表面进行有效保护,避免衍射光栅在存储、运输过程中受到污染和损坏。
本发明的目的可通过以下的技术措施来实现:
本发明提供了一种衍射光栅保护结构,为多层结构,包括衍射光栅、分离层、反射层、树脂层、保护玻璃;所述分离层、所述反射层、所述树脂层、所述保护玻璃的表面尺寸与所述衍射光栅的表面尺寸相同;
所述分离层采用真空蒸镀的方法镀于所述衍射光栅的表面,所述反射层采用真空蒸镀的方法镀于所述分离层上,将混合有固化剂的环氧树脂均匀涂覆于所述反射层上,所述保护玻璃与所述衍射光栅的表面盖合地铺设于环氧树脂上,环氧树脂固化后形成位于所述反射层与所述保护玻璃间的所述树脂层。
进一步地,所述分离层的材质为275硅油,所述分离层的厚度小于10nm。
进一步地,所述反射层为金属反射层。
进一步地,所述金属反射层的材质为Al、Ag、Au中的任意一种。
进一步地,所述树脂层采用的环氧树脂为618号环氧树脂或6828号环氧树脂。
进一步地,所述树脂层采用的固化剂为咪唑类固化剂。
进一步地,所述保护玻璃为平板光学玻璃,厚度为1-3mm。
本发明还提供了一种衍射光栅保护结构的制备方法,包括以下步骤:
S1:制备获得所述衍射光栅、准备与所述衍射光栅的表面尺寸相同的所述保护玻璃,清洁后备用;
S2:在所述衍射光栅的表面真空蒸镀所述分离层,将所述衍射光栅置于真空镀膜机中,控制所述真空镀膜机内的真空度在1.0×10-3Pa以上,将分离层材料真空蒸镀到所述衍射光栅的表面形成所述分离层;
S3:继续真空蒸镀所述反射层,控制所述真空镀膜机内的真空度在1.0×10-3Pa以上,将反射层材料真空蒸镀到所述分离层上形成所述反射层,取出完成真空蒸镀后衍射光栅;
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,未经中国科学院长春光学精密机械与物理研究所许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201910679696.8/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。