[发明专利]一种适用于硅片生产制造的金刚线二次利用方法

权利要求书

1.一种适用于硅片生产制造的金刚线二次利用方法，包括收线辊和放线辊，收线辊上卷绕有多圈使用过的旧金刚线，收线辊上的金刚线向外延伸后依次绕过左侧导向轮组、两个螺纹辊和右侧导向轮组后收回卷绕在放线辊上；金刚线沿着两侧的螺纹槽螺旋卷绕在两螺纹辊上，形成线网；所述收线辊包括收线轮和储线段，收线辊收线轮和储线段之间经环形分隔带隔开，收线辊储线段的轴向长度大于收线轮的轴向长度，所述放线辊包括放线轮和储线段，放线辊放线轮和储线段之间经环形分隔带隔开，放线辊储线段的轴向长度大于放线轮的轴向长度，所述放线轮和收线轮相对设置；所述螺纹辊上方设有可升降的晶托，晶托上固定有晶棒；其特征在于，所述方法包括如下步骤：

（1）收线辊送线：收线辊和放线辊反向转动，收线辊储线段向放线轮放线，使得放线轮上卷绕X公里的金刚线；

（2）放线轮送线：放线辊和收线辊转动，放线轮向收线轮放线，使得收线轮上卷绕Y公里的金刚线；

（3）收线轮进线切割：收线辊和放线辊再反向转动，收线轮向放线轮放出Z公里的金刚线，与此同时晶托下降，使得晶棒朝着线网下压，直至晶棒被线网切割成若干片，此时放线轮上线量为（X-Y+Z）公里，收线轮上线量为（Y-Z）公里；晶棒的下降移动速度为1.57~1.63mm/min，收线轮向放线轮放出Z公里的金刚线的过程中，采用分150个循环一进一回的方式进线；

（4）收线轮和放线轮回线：晶托上升，带动晶棒与线网分开，放线辊和收线辊转动，放线轮向收线轮放线，使得放线轮上（X-Y+Z）公里的金刚线全部回收卷绕到收线轮上，放线轮上线量变为0；收线轮再向放线辊储线段放线，使得收线轮上X公里的金刚线全部回收卷绕到放线辊储线段上，收线轮上线量变为0；

（5）放线辊储线段返线：放线辊和收线辊转动，放线辊储线段向收线辊储线段放出L公里的金刚线；

布置在所述收线辊和放线辊之间的金刚线的张力为9.45~9.55N，放线辊或收线辊上的金刚线放出后以3.94~4.06m/s²的加速度做匀加速运动，当金刚线的移动速度达到22.6~23.4m/s时，金刚线保持匀速运动。

2.根据权利要求1所述的一种适用于硅片生产制造的金刚线二次利用方法，其特征在于，所述步骤（1）开始之前，收线辊储线段卷绕有50、70或100公里的旧金刚线，两个螺纹辊之间的线网包含的金刚线长度为3.5公里。

3.根据权利要求1或2所述的一种适用于硅片生产制造的金刚线二次利用方法，其特征在于，所述步骤（5）完成后，在晶托上重新固定安装新的待切割晶棒，再次循环进行步骤（1）、（2）、（3）（4）和（5），直至收线辊储线段上的金刚线用完。

4.根据权利要求1或2所述的一种适用于硅片生产制造的金刚线二次利用方法，其特征在于，所述X=8，Y=7.5，Z=6.5，L=1；所述晶棒在切割方向上的尺寸为157.5~158mm，晶棒与线网接触后，晶棒下降移动的行程为164mm。

5.根据权利要求1或2所述的一种适用于硅片生产制造的金刚线二次利用方法，其特征在于，所述左侧导向轮组依次包括导向轮一、导向轮二和导向轮三，导向轮二和导向轮三的轮轴位于同一水平面内，所述右侧导向轮组依次包括导向轮四、导向轮五和导向轮六，导向轮四和导向轮五的轮轴位于同一水平面内，导向轮一和导向轮六的轮轴上均转动连接有排线摆臂，排线摆臂的端部设有排线轮，两排线摆臂分别与放线辊、收线辊相对应设置。

6.根据权利要求1或2所述的一种适用于硅片生产制造的金刚线二次利用方法，其特征在于，所述放线辊和收线辊的轴线互相平行，两个螺纹辊的轴线相平行，螺纹辊的轴线和放线辊的轴线相垂直。