[发明专利]一种缺陷检测装置及其方法

权利要求书

1.一种缺陷检测装置，其特征在于，包括：

载物台，所述载物台用于承载待测物；

发光元件，所述发光元件与所述待测物正对设置，所述发光元件用于照射所述待测物；

移动调节组件，所述移动调节组件与所述发光元件连接，用于调节所述发光元件与所述待测物之间的相对位置，使得所述发光元件发出的光照射所述待测物的角度不同；

第一偏振片，所述第一偏振片位于所述发光元件与所述待测物之间；

图像采集单元，所述图像采集单元位于所述发光元件远离所述待测物的一侧，用于采集所述待测物的图像；

第二偏振片，所述第二偏振片位于所述图像采集单元与所述发光元件之间，所述第二偏振片与所述第一偏振片的偏振方向互相垂直；

图像处理单元，所述图像处理单元与所述图像采集单元连接，所述图像处理单元用于根据所述图像采集单元采集的图像对所述待测物表面缺陷进行识别。

2.根据权利要求1所述的缺陷检测装置，其特征在于，所述发光元件为中部镂空的光源板，所述镂空区域露出所述待测物。

3.根据权利要求1所述的缺陷检测装置，其特征在于，所述移动调节组件包括支架和连接件，所述支架连接在所述载物台上，所述连接件的一端与所述支架连接，另一端与所述发光元件连接，所述连接件沿垂直于载物台的方向上移动。

4.根据权利要求1所述的缺陷检测装置，其特征在于，所述图像采集单元包括物镜和相机，所述物镜位于所述第二偏振片远离所述发光元件的一侧，所述相机位于所述物镜远离所述第二偏振片的一侧，所述物镜与所述相机连接。

5.根据权利要求4所述的缺陷检测装置，其特征在于，所述第一偏振片可绕所述发光元件的垂直中心轴线转动，所述第二偏振片可绕所述物镜光轴转动。

6.一种基于权利要求1-5任一项所述的缺陷检测装置的缺陷检测方法，其特征在于，包括以下步骤：

调节所述发光元件与所述待测物之间的相对位置，使得所述发光元件发出的光照射所述待测物的角度不同；且所述第一偏振片和所述第二偏振片的偏振方向相互垂直时，获取多个照明角度下的待测物图像；

对获取的所述待测物图像进行降维处理，获取一个二维矩阵；

对所述二维矩阵进行主成分分析，获取Q统计图像；

对所述Q统计图像进行阈值分割，获取所述待测物的缺陷信息。

7.根据权利要求6所述的缺陷检测方法，其特征在于，所述调节所述发光元件与所述待测物之间的相对位置为垂直距离，且所述第一偏振片和所述第二偏振片的偏振方向相互垂直时，获取多个照明角度下的待测物图像包括以下步骤：

调节所述发光元件与所述待测物之间的距离为第一距离h₁，获取待测物图像；

调节所述发光元件与所述待测物的之间的距离为第i距离h_i；获取待测物图像；

继续调节所述发光元件与所述待测物的之间的距离直至获取M幅待测物图像，i∈M，M为大于等于2的正整数。