[发明专利]一种缺陷检测装置及其方法有效

专利信息
申请号: 201910684263.1 申请日: 2019-07-26
公开(公告)号: CN110286130B 公开(公告)日: 2020-05-15
发明(设计)人: 于凯航 申请(专利权)人: 上海御微半导体技术有限公司
主分类号: G01N21/88 分类号: G01N21/88;G01N21/01
代理公司: 北京品源专利代理有限公司 11332 代理人: 孟金喆
地址: 201203 上海市浦东新区中国*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 一种 缺陷 检测 装置 及其 方法
【说明书】:

发明公开了一种缺陷检测装置,包括:载物台,其用于承载待测物;发光元件,其与待测物正对设置,其用于照射待测物;移动调节组件,其与发光元件连接,用于调节发光元件与待测物之间的相对位置;第一偏振片,其位于发光元件与待测物之间;图像采集单元,其位于发光元件远离待测物的一侧,用于采集待测物的图像;第二偏振片,其位于图像采集单元与发光元件之间,第二偏振片与第一偏振片的偏振方向互相垂直;图像处理单元,其与图像采集单元连接,用于根据图像采集单元采集的图像对待测物表面缺陷进行识别,可在多个照明角度下进行缺陷检测,并且避免在缺陷检测时出现高光,以实现提高缺陷检出率。本发明还公开了一种缺陷检测方法。

技术领域

本发明涉及缺陷检测技术,尤其涉及一种缺陷检测装置和一种缺陷检测方法。

背景技术

表面缺陷检测是工业生产领域的重要质量控制方法,缺陷的大小和数量对于评价产品质量具有决定性的影响。传统的缺陷检测方法通过人眼判别,由于主观因素的影响,这种方法很不稳定,使得检测的精度很低,而且速度也很慢,难以满足工业检测对于可靠性和速度的需求。

针对上述技术缺陷,基于机器视觉的表面缺陷检测技术已经成为当下生产线上检测产品质量缺陷的主要方式。其中,机器视觉探测技术受光的照明角度影响较大,在不同的照明角度下,不同的缺陷表现出的特征不同,使得不同的照明角度下检测出的缺陷数量会有不同,进而传统机器视觉探测技术中常采用单个照明角度,但由于缺陷的对比度或者亮度对照明光的方向比较敏感,在传统的单个照明角度下,可能由于亮度低或者对比度低,有些缺陷检测不出。

另外,在工业生产领域,经常会遇到光滑的表面,对这种表面进行缺陷检测时,往往会产生较强的镜面反射,在待测待测物表面出现高光,从而可能掩盖缺陷,降低缺陷检出率。

发明内容

本发明提供一种缺陷检测装置及其方法,可在多个照明角度下进行缺陷检测,并且避免在缺陷检测时出现高光,以实现提高缺陷检出率。

为实现上述目的,本发明一方面实施例提供了一种缺陷检测装置,包括:

载物台,所述载物台用于承载待测物;

发光元件,所述发光元件与所述待测物正对设置,所述发光元件用于照射所述待测物;

移动调节组件,所述移动调节组件与所述发光元件连接,用于调节所述发光元件与所述待测物之间的相对位置;

第一偏振片,所述第一偏振片位于所述发光元件与所述待测物之间;

图像采集单元,所述图像采集单元位于所述发光元件远离所述待测物的一侧,用于采集所述待测物的图像;

第二偏振片,所述第二偏振片位于所述图像采集单元与所述发光元件之间,所述第二偏振片与所述第一偏振片的偏振方向互相垂直;

图像处理单元,所述图像处理单元与所述图像采集单元连接,所述图像处理单元用于根据所述图像采集单元采集的图像对所述待测物表面缺陷进行识别。

根据本发明实施例提出的缺陷检测装置,可通过移动调节组件调节发光元件与待测物之间的相对位置,进而在检测待测物表面缺陷时,实现多角度照明,以克服单个照明角度下,部分缺陷检测不出的问题,另外,通过在发光元件和待测物之间添加第一偏振片,以及在图像采集单元和发光元件之间添加第二偏振片,并且两者的偏振通道保持互相垂直,进而消除每一个照明角度下,每一幅图像中的高光,从而提高缺陷检出率。

根据本发明的一个实施例,所述发光元件为中部镂空的光源板,所述镂空区域露出所述待测物。

根据本发明的一个实施例,所述移动调节组件包括支架和连接件,所述支架固定在所述载物台上,所述连接件的一端与所述支架连接,另一端与所述发光元件连接,所述连接件沿垂直于载物台的方向上移动。

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