[发明专利]晶圆制造的预派工方法、电子装置、计算机设备和系统

权利要求书

1.一种晶圆制造的预派工方法，其特征在于，所述方法包括：

获取一或多个机台当前的运行状况以确定可运行机台；

获取待处理晶圆的晶圆组的晶圆存放信息和各所述可运行机台的一或多个晶圆载体的晶圆额定存放量，以计算得到与各所述晶圆载体对应的批次编号，每个所述批次编号和至少一个所述晶圆组对应，包括以下任意一种或多种组合：1)当一所述晶圆组的晶圆存放量大于所述晶圆载体的晶圆额定存放量，则对所述晶圆组的晶圆进行分批，每个所述批次编号和一个所述晶圆组对应；2)当一所述晶圆组的晶圆存放量等于所述晶圆载体的晶圆额定存放量，则不对所述晶圆组的晶圆进行分批，每个所述批次编号和一个所述晶圆组对应；3)当一所述晶圆组的晶圆存放量小于所述晶圆载体的晶圆额定存放量，则不对所述晶圆组的晶圆进行分批，且需要组合多个晶圆组中的晶圆以满足所述晶圆载体的晶圆额定存放量，每个所述批次编号和两个或两个以上所述晶圆组对应；

将与各批次编号对应的晶圆组的晶圆装载至相应批次编号的晶圆载体中；

已装载晶圆的晶圆载体等待所述可运行机台的处理。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述获取一或多个机台当前的运行状况以确定可运行机台，包括：

获取到的当前运行状况为空闲的机台为可运行机台；和/或，获取到的距离运行结束时间小于或等于预设时间的机台为可运行机台。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述批次编号包含可运行机台名称、晶圆组名称、晶圆载体名称、晶圆产品名称、晶圆产品的交货日期。

4.根据权利要求1或3所述的方法，其特征在于，所述将与各批次编号对应的晶圆组的晶圆装载至相应批次编号的晶圆载体中，包括：

将所述批次编号打印为二维码，通过扫描所述二维码以用于根据各所述批次编号将与各所述批次编号对应的所述晶圆组的晶圆装载至相应所述批次编号的所述晶圆载体中。

5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述将与各批次编号对应的晶圆组的晶圆装载至相应批次编号的晶圆载体中之后，所述已装载晶圆的晶圆载体等待所述可运行机台的处理之前，包括：

将所述二维码标记于相应的所述晶圆载体上，便于对所述晶圆载体在工艺流程中的跟踪。

6.根据权利要求1或3所述的方法，其特征在于，所述已装载晶圆的晶圆载体等待所述可运行机台的处理，包括：根据各批次编号将各已装载晶圆的晶圆载体放至相应可运行机台的备货区，等待所述可运行机台的处理。

7.一种电子装置，其特征在于，所述装置包括：

获取模块，用于获取一或多个机台当前的运行状况以确定可运行机台；获取待处理晶圆的晶圆组的晶圆存放信息和各所述可运行机台的一或多个晶圆载体的晶圆额定存放量，以计算得到与各所述晶圆载体对应的批次编号，每个所述批次编号和至少一个所述晶圆组对应，包括以下任意一种或多种组合：1)当一所述晶圆组的晶圆存放量大于所述晶圆载体的晶圆额定存放量，则对所述晶圆组的晶圆进行分批，每个所述批次编号和一个所述晶圆组对应；2)当一所述晶圆组的晶圆存放量等于所述晶圆载体的晶圆额定存放量，则不对所述晶圆组的晶圆进行分批，每个所述批次编号和一个所述晶圆组对应；3)当一所述晶圆组的晶圆存放量小于所述晶圆载体的晶圆额定存放量，则不对所述晶圆组的晶圆进行分批，且需要组合多个晶圆组中的晶圆以满足所述晶圆载体的晶圆额定存放量，每个所述批次编号和两个或两个以上所述晶圆组对应；

处理模块，用于将与各批次编号对应的晶圆组的晶圆装载至相应批次编号的晶圆载体中；已装载晶圆的晶圆载体等待所述可运行机台的处理。

8.一种计算机设备，其特征在于，所述设备包括：存储器、处理器、及通信器；所述存储器用于存储计算机指令；所述处理器运行计算机指令辅助实现如权利要求1至6中任意一项所述的方法；所述通信器用于与外部通信。

9.一种晶圆制造的预派工系统，其特征在于，所述系统包括：权利要求8所述的计算机设备、一或多个机台；各所述机台对应至少一个晶圆载体。