[发明专利]一种太阳能硅片切割过程中硅粉浓度的控制方法在审

专利信息
申请号: 201910688140.5 申请日: 2019-07-29
公开(公告)号: CN112297260A 公开(公告)日: 2021-02-02
发明(设计)人: 郭俊文;崔伟;王冬雪;赵越;刘晓伟;危晨;范猛 申请(专利权)人: 内蒙古中环光伏材料有限公司
主分类号: B28D5/04 分类号: B28D5/04;B28D7/02;C10M173/02
代理公司: 天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 12213 代理人: 栾志超
地址: 010070 内蒙古自*** 国省代码: 内蒙古;15
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摘要:
搜索关键词: 一种 太阳能 硅片 切割 过程 中硅粉 浓度 控制 方法
【权利要求书】:

1.一种太阳能硅片切割过程中硅粉浓度的控制方法,其特征在于,包括以下步骤:

S1:测定被切割硅棒的整体长度L和所述硅棒的宽度W;

S2:测出金刚切割线的横截面面积A;

S3:根据位置传感器实时测试出所述硅棒的切割深度H;

S4:根据流量计测出实时冷却液体积Q;

S5:测出切割用槽轮的宽度方向上的槽距ε;

S6:再根据公式计算出硅粉浓度C;

所述S1至所述S5的操作顺序可相互更换。

2.根据权利要求1所述的一种太阳能硅片切割过程中硅粉浓度的控制方法,其特征在于,所述硅棒的边长尺寸为180-220mm。

3.根据权利要求1所述的一种太阳能硅片切割过程中硅粉浓度的控制方法,其特征在于,所述硅棒长度为600-900mm。

4.根据权利要求1所述的一种太阳能硅片切割过程中硅粉浓度的控制方法,其特征在于,所述金刚切割线直径不大于60mm。

5.根据权利要求4所述的一种太阳能硅片切割过程中硅粉浓度的控制方法,其特征在于,所述金刚切割线直径为60mm。

6.根据权利要求1-5任一项所述的一种太阳能硅片切割过程中硅粉浓度的控制方法,其特征在于,在所述S4中,所述冷却液是通过设置在所述硅棒两侧的喷管溢流装置对所述硅片喷洒。

7.根据权利要求6所述的一种太阳能硅片切割过程中硅粉浓度的控制方法,其特征在于,所述冷却液体积为两侧所述喷管溢流的所述冷却液体积之和。

8.根据权利要求7所述的一种太阳能硅片切割过程中硅粉浓度的控制方法,其特征在于,所述冷却液温度范围为16-20℃。

9.根据权利要求8所述的一种太阳能硅片切割过程中硅粉浓度的控制方法,其特征在于,所述冷却液流量为150-280L/min。

10.根据权利要求1-5、7-9任一项所述的一种太阳能硅片切割过程中硅粉浓度的控制方法,其特征在于,所述冷却液,按重量计,包括以下组分:聚乙二醇:80-95%、螯合剂:2-10%、表面活性剂:0-5%,其余为离子水。

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