[发明专利]衬底平整度检测仪的修复装置和方法

说明书

本发明公开了一种衬底平整度检测仪的修复装置和方法，属于晶片检测技术领域。所述衬底平整度检测仪具有圆形的图形化表面，所述图形化表面用于放置待检测的衬底；所述修复装置包括磨料和研具，所述磨料铺设在所述图形化表面上，所述研具通过所述磨料与所述图形化表面相抵，所述研具与所述图形化表面之间发生相对滑动；所述磨料由碳化硼颗粒、金刚石颗粒、悬浮剂和水组成，所述碳化硼颗粒的质量分数为所述金刚石颗粒的质量分数的2倍～3倍。本发明可以有效修复衬底平整度检测仪的图形化表面，延长图形化表面的使用寿命，将图形化表面所在部件的购买和维修次数从50次以上/年减少到2次以下/年，大幅降低衬底的制作成本。

技术领域

本发明涉及晶片检测技术领域，特别涉及一种衬底平整度检测仪的修复装置和方法。

背景技术

随着社会的发展，能源变得稀缺，温室效应日益明显，“绿色节能”成为社会的主题。发光二极管(英文：Light Emitting Diode，简称：LED)是一种可以把电能转化成光能的半导体二极管，将其取代白炽灯、荧光灯等冷光源进行照明，无疑是节能减排的一项重要举措。而随着LED在照明领域的广泛应用，对LED在亮度、波长均匀性等方面的品质要求也越来越高。图形化蓝宝石衬底(英文：Patterned Sapphire Substrate，简称：PSS)，一方面可以减少外延材料的位错密度，延长LED的使用寿命；另一方面可以改变全反射光的出射角，增加LED的出光效率，有利于满足LED的品质要求，因此目前通常采用PSS生长外延材料，进而制作出高品质的LED。

PSS对衬底的品质要求很高，总厚度变化(英文：total thickness variation，简称：TTV)和局部厚度变化(英文：local thickness variation，简称：LTV)是衡量衬底加工优劣的两个重要指标，会直接影响到PSS的良率。为了筛选出合格的衬底制作PSS，在衬底加工之后，会先进行平整度检测。现有的平整度检测仪具有一个图形化表面，检测平整度时需要将衬底放置在这个图形化表面上，利用光学技术对衬底的表面形貌进行检测，进而得到衬底的平整度。因此，平整度检测对这个图形化表面的平整度要求极高，一般要求图形化表面的平整度控制在0.2μm以下，避免由于图形化表面的不平整而影响到衬底平整度的检测结果，保证衬底平整度检测的准确性。

在实现本发明的过程中，发明人发现现有技术至少存在以下问题：

将衬底放置在图形化表面上时，人手和衬底都不可避免地触碰到图形化表面。当这种触碰积累到10万次以上时，图形化表面上凸起部和凹陷部的交界处出现磨损，导致图形化表面上凸起部和凹陷部的界线模糊，光学检测无法得到衬底表面的真实形貌，影响衬底平整度测量的准确性。目前的做法是对提供图形化表面的部件进行更换，但是这个部件完全依靠进口，购买价格高达10万元以上，维修价格也近7万元，造成衬底的制作成本高昂。

发明内容

本发明实施例提供了一种衬底平整度检测仪的修复装置和方法，可以延长图形化表面的使用寿命，降低衬底的制作成本。所述技术方案如下：

一方面，本发明实施例提供了一种衬底平整度检测仪的修复装置，所述衬底平整度检测仪具有圆形的图形化表面，所述图形化表面用于放置待检测的衬底；所述修复装置包括磨料和研具，所述磨料铺设在所述图形化表面上，所述研具通过所述磨料与所述图形化表面相抵，所述研具与所述图形化表面之间发生相对滑动；所述磨料由碳化硼颗粒、金刚石颗粒、悬浮剂和水组成，所述碳化硼颗粒的质量分数为所述金刚石颗粒的质量分数的2倍～3倍。

可选地，所述碳化硼颗粒的粒度为2.5μm～5μm，所述金刚石颗粒的粒度为2.5μm～5μm。

进一步地，所述悬浮剂的质量分数为所述碳化硼颗粒的质量分数和所述金刚石颗粒的质量分数之和的8倍～9倍。

更进一步地，所述碳化硼颗粒的质量分数为5％～7.5％，所述金刚石颗粒的质量分数为2％～3％，所述悬浮剂的质量分数为80％～85％。