[发明专利]光罩台车改进结构在审
| 申请号： | 201910691439.6 | 申请日： | 2019-07-29 |
| 公开（公告）号： | CN110297390A | 公开（公告）日： | 2019-10-01 |
| 发明（设计）人： | 苏顺森 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G03F1/66 | 分类号： | G03F1/66;G03F7/20;G02F1/13;B62B3/04;B62B5/04 |
| 代理公司： | 深圳市德力知识产权代理事务所 44265 | 代理人： | 林才桂;刘巍 |
| 地址： | 430079 湖北省武汉市*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 台车本体 改进结构 光罩台车 光罩盒 限位块 光罩 台车 定位装置 机械臂 曝光机 透光孔 传感器 移位 脚刹 盛放 宕机 挤压 | ||
1.一种光罩台车改进结构，其特征在于，包括：台车本体，设于台车本体上部用于盛放光罩的光罩盒，设于台车本体上部用于接触挤压光罩盒以限制光罩盒相对台车本体的位置的限位块，设于台车本体底部的脚刹，设于台车本体下部的传感器透光孔；所述台车本体上部在限位块旁边还设有用于固定光罩盒位置的定位装置。
2.如权利要求1所述的光罩台车改进结构，其特征在于，所述传感器透光孔位于台车本体下部的侧方邻近前轮的位置。
3.如权利要求1所述的光罩台车改进结构，其特征在于，所述传感器透光孔的宽度为3～5毫米。
4.如权利要求1所述的光罩台车改进结构，其特征在于，所述脚刹与台车本体之间还设有垫片。
5.如权利要求4所述的光罩台车改进结构，其特征在于，所述垫片为钢材质。
6.如权利要求1所述的光罩台车改进结构，其特征在于，所述限位块的材质为塑料。
7.如权利要求1所述的光罩台车改进结构，其特征在于，所述限位块的形状为长方体或立方体。
8.如权利要求1所述的光罩台车改进结构，其特征在于，所述定位装置包括本体和定位螺丝，所述本体使用螺丝固定于台车本体上部表面，所述本体中间设有螺孔以供定位螺丝旋转穿过，所述定位螺丝的末端旋转穿过本体中间并通过定位螺丝的末端抵靠在对应的限位块上以防止限位块移动。
9.如权利要求8所述的光罩台车改进结构，其特征在于，所述本体为立方体或长方体形状。
10.如权利要求8所述的光罩台车改进结构，其特征在于，所述本体为钢材质。
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G03F 图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F1-00 用于图纹面的照相制版的原版，例如掩膜，光掩膜；其所用空白掩膜或其所用薄膜；其专门适用于此的容器；其制备
G03F1-20 .用于通过带电粒子束(CPB)辐照成像的掩膜或空白掩膜，例如通过电子束；其制备
G03F1-22 .用于通过100nm或更短波长辐照成像的掩膜或空白掩膜，例如 X射线掩膜、深紫外
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