[发明专利]光罩台车改进结构在审
申请号: | 201910691439.6 | 申请日: | 2019-07-29 |
公开(公告)号: | CN110297390A | 公开(公告)日: | 2019-10-01 |
发明(设计)人: | 苏顺森 | 申请(专利权)人: | 武汉华星光电技术有限公司 |
主分类号: | G03F1/66 | 分类号: | G03F1/66;G03F7/20;G02F1/13;B62B3/04;B62B5/04 |
代理公司: | 深圳市德力知识产权代理事务所 44265 | 代理人: | 林才桂;刘巍 |
地址: | 430079 湖北省武汉市*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 台车本体 改进结构 光罩台车 光罩盒 限位块 光罩 台车 定位装置 机械臂 曝光机 透光孔 传感器 移位 脚刹 盛放 宕机 挤压 | ||
本发明涉及一种光罩台车改进结构。该种光罩台车改进结构包括:台车本体,设于台车本体上部用于盛放光罩的光罩盒,设于台车本体上部用于接触挤压光罩盒以限制光罩盒相对台车本体的位置的限位块,设于台车本体底部的脚刹,设于台车本体下部的传感器透光孔;所述台车本体上部在限位块旁边还设有用于固定光罩盒位置的定位装置。本发明的光罩台车改进结构能够有效避免台车因为机械臂取放光罩时台车或光罩的移位导致整个曝光机宕机。
技术领域
本发明涉及液晶显示器生产制造领域,尤其涉及一种光罩台车改进结构。
背景技术
近年来,中小尺寸液晶显示器发展迅猛,制备过程中需要使用到精密光学仪器曝光机,曝光机工艺中需要使用到光罩(mask)。目前工厂内通过台车(MGV,Manual GuidedVehicle)将装有光罩的光罩盒(case)送入曝光机,然后进行后续的流程。参见图1,其为现有的光罩台车结构侧视图,现有的用于搬运光罩进入曝光机的光罩台车主要包括台车本体10,台车本体10上部设有用于盛放光罩的光罩盒50,台车本体10底部设有脚刹30,台车本体10下部设有传感器透光孔40,台车本体上部设有限位块60,限位块60可以接触挤压光罩盒50以使光罩盒50相对台车本体10保持位置不变;脚刹30用于在台车本体10就位后固定台车本体10的位置,传感器透光孔40内设有传感器,传感器通过传感器透光孔40发射光线以侦测台车本体10与光罩盒50之间的相对位置变化。台车本体10送入曝光机后,曝光机通过机械臂20取放光罩盒50及盛放于其中的光罩,机械臂20使光罩盒50上升,当光罩盒50底部的高度越过限位块60的高度后,即可将台车本体10从曝光机拉出,使台车本体10和光罩盒50分离。机械臂20取放台车本体10上光罩时,若两者接触部位存在细微干涉(设计允许误差内),如果此时脚刹30没有起作用,也就是脚刹30悬空没有接触地面,就会造成台车本体10有微动,台车本体10的传感器无法感应到,台车本体10或光罩盒50内的光罩的移位进而导致曝光机宕机,造成节拍时间(tack time)及产能的流失,现有技术中在台车本体10两侧加装电磁铁,经过长时间磨损晃动未能有效解决这个问题。
发明内容
因此,本发明的目的在于提供一种光罩台车改进结构,减少机械臂取放光罩时曝光机的宕机发生。
为实现上述目的,本发明提供了一种光罩台车改进结构,包括:台车本体,设于台车本体上部用于盛放光罩的光罩盒,设于台车本体上部用于接触挤压光罩盒以限制光罩盒相对台车本体的位置的限位块,设于台车本体底部的脚刹,设于台车本体下部的传感器透光孔;所述台车本体上部在限位块旁边还设有用于固定光罩盒位置的定位装置。
其中,所述传感器透光孔位于台车本体下部的侧方邻近前轮的位置。
其中,所述传感器透光孔的宽度为3~5毫米。
其中,所述脚刹与台车本体之间还设有垫片。
其中,所述垫片为钢材质。
其中,所述限位块的材质为塑料。
其中,所述限位块的形状为长方体或立方体。
其中,所述定位装置包括本体和定位螺丝,所述本体使用螺丝固定于台车本体上部表面,所述本体中间设有螺孔以供定位螺丝旋转穿过,所述定位螺丝的末端旋转穿过本体中间并通过定位螺丝的末端抵靠在对应的限位块上以防止限位块移动。
其中,所述本体为立方体或长方体形状。
其中,所述本体为钢材质。
综上,本发明的光罩台车改进结构能够有效减少或防止台车因为机械臂取放光罩时台车或光罩的移位导致整个曝光机宕机。
附图说明
下面结合附图,通过对本发明的具体实施方式详细描述,将使本发明的技术方案及其他有益效果显而易见。
附图中,
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