[发明专利]研磨垫

权利要求书

1.一种研磨垫，其具有圆盘状的基材和上表面侧粘贴在该基材上的研磨层，其特征在于，

该基材在该基材的中央部具有第1贯通孔，该第1贯通孔按照上下贯通该基材的方式形成，用于提供研磨液，

该研磨层具有：

多个第2贯通孔，它们按照上下贯通该研磨层的方式形成，用于提供该研磨液；以及

多个槽，它们形成于该研磨层的下表面侧，并且直接与该第2贯通孔连结，

该多个第2贯通孔形成于与该第1贯通孔重叠的位置，

该多个槽直接从该多个第2贯通孔朝向该研磨层的外周呈放射状形成。

2.根据权利要求1所述的研磨垫，其特征在于，

在该研磨层的下表面侧的位于比该多个第2贯通孔靠该研磨层的外周侧的位置的区域中，形成有与该槽连结的多个同心圆状的槽。

3.根据权利要求1或2所述的研磨垫，其特征在于，

与该第2贯通孔连结的该槽按照未到达该研磨层的外周的方式形成。

4.一种研磨垫，其具有圆盘状的基材和上表面侧粘贴在该基材上的研磨层，其特征在于，

该研磨层具有：

多个贯通孔，它们按照上下贯通该研磨层的方式形成，用于提供研磨液；以及

多个槽，它们形成于该研磨层的下表面侧，并且直接与该贯通孔连结，

该多个贯通孔按照围绕该研磨层的中心的方式形成，该多个贯通孔位于比多个槽的半径方向的内端靠研磨层的中心的位置，

该多个槽直接从该多个贯通孔朝向该研磨层的外周呈放射状形成。

5.根据权利要求4所述的研磨垫，其特征在于，

在该研磨层的下表面侧的位于比该多个贯通孔靠该研磨层的外周侧的位置的区域中，形成有与该槽连结的多个同心圆状的槽。

6.根据权利要求4或5所述的研磨垫，其特征在于，

与该贯通孔连结的该槽按照未到达该研磨层的外周的方式形成。