[发明专利]一种制备锡酸钡陶瓷靶材的方法在审
| 申请号： | 201910694790.0 | 申请日： | 2019-07-30 |
| 公开（公告）号： | CN110272276A | 公开（公告）日： | 2019-09-24 |
| 发明（设计）人： | 杜文汉;杨景景;郑敏;卞维柏;张信华;陈磊 | 申请（专利权）人： | 常州工学院 |
| 主分类号： | C04B35/457 | 分类号： | C04B35/457;C04B35/622 |
| 代理公司： | 南京知识律师事务所 32207 | 代理人： | 王昊 |
| 地址： | 213032 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 碳酸钡 锡酸钡 氧化锡 固相反应烧结 预烧结混合物 陶瓷靶材 靶材 大气气氛 制备 氧化锡粉末 保温烧结 粉末压片 混合粉末 节能环保 球磨混合 物质量比 纳米级 预烧结 粒径 球磨 压片 能耗 | ||
1.一种制备锡酸钡陶瓷靶材的方法，其特征在于，包括如下步骤：
S1：按照1∶1的物质量比，将分析纯的碳酸钡和氧化锡置于球磨机中研磨10～12h，其中碳酸钡和/或氧化锡的粒径为纳米级，得碳酸钡和氧化锡混合粉末；
S2：将碳酸钡和氧化锡混合粉末置于800～900℃大气气氛中预烧结3～4h，自然冷却至室温，得碳酸钡和氧化锡预烧结混合物；
S3：将碳酸钡和氧化锡预烧结混合物置于球磨机中研磨2～3h，得碳酸钡和氧化锡预烧结混合物粉末；
S4：将碳酸钡和氧化锡预烧结混合物粉末中加入一定质量的辅助粘结剂，搅拌均匀，压片，得碳酸钡和氧化锡预烧结混合物压片；
S5：将碳酸钡和氧化锡预烧结混合物压片置于900～1000℃大气气氛中保温烧结20～24h，自然冷却至室温，得锡酸钡陶瓷靶材。
2.如权利要求1所述的制备锡酸钡陶瓷靶材的方法，其特征在于，所述步骤S1中氧化锡的纯度为99.9％以上，碳酸钡和/或氧化锡的粒径范围为20～80nm。
3.如权利要求2所述的制备锡酸钡陶瓷靶材的方法，其特征在于，所述步骤S4中辅助粘结剂为无水甲醇、无水乙醇或无水丙酮中的一种，辅助粘结剂的质量为碳酸钡和氧化锡预烧结混合物粉末质量的1～2％，压片条件为15～50Mpa、保压时间为1h。
4.如权利要求3所述的制备锡酸钡陶瓷靶材的方法，其特征在于，所述步骤S5的具体操作步骤为将碳酸钡和氧化锡预烧结混合物压片按照3～5℃/min的升温速度升温至900～1000℃。
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