[发明专利]一种基板自动对位夹具装置和自动对位方法

权利要求书

1.一种基板自动对位夹具装置，其特征在于，包括：

基台，所述基台包括首尾相接的四条边；

第一组推压夹具和第二组推压夹具，所述第一组推压夹具和所述第二组推压夹具分别包括至少三个推压夹具，所述第一组推压夹具中的所述推压夹具分布在所述基台相接的两条边上，所述第二组推压夹具中的所述推压夹具分布在所述基台相接的另外两条边上；

至少所述第一组推压夹具中的所述推压夹具上设置有距离传感器，至少所述第二组推压夹具中的所述推压夹具上设置有压力传感器，所述距离传感器用于测量所述推压夹具与所述基台的距离，所述压力传感器用于测量所述推压夹具与待夹持基板之间的压力；

控制电路，分别与所述推压夹具、所述距离传感器和所述压力传感器电连接，所述控制电路用于根据所述距离传感器和所述压力传感器的反馈信号，控制所述推压夹具移动，直至在预设位置以预设压力夹持所述基板。

2.根据权利要求1所述的基板自动对位夹具装置，其特征在于，所述第一组推压夹具中的所述推压夹具上设置有距离传感器，所述第二组推压夹具中的所述推压夹具上设置有压力传感器；

或者，所述第一组推压夹具中的所述推压夹具上设置有距离传感器和压力传感器，所述第二组推压夹具中的所述推压夹具上至少设置有压力传感器。

3.根据权利要求2所述的基板自动对位夹具装置，其特征在于，所述第一组推压夹具和所述第二组推压夹具分别包括三个推压夹具，且在所述基台相对的两条边上，所述推压夹具一一对应。

4.根据权利要求2所述的基板自动对位夹具装置，其特征在于，所述基台包括相对的两条第一边和相对的两条第二边，所述第一边的长度大于或等于所述第二边；

每条所述第一边均匀分布有至少两个所述推压夹具，每条所述第二边均匀分布有至少一个所述推压夹具。

5.根据权利要求1所述的基板自动对位夹具装置，其特征在于，所述推压夹具包括夹具基座以及设置在所述夹具基座上的驱动马达和传动杆，所述驱动马达与所述传动杆传动连接，所述传动杆在垂直所述基台的设置对应夹具基座的边的方向上延伸；

所述距离传感器设置在所述传动杆的侧面，所述压力传感器设置在所述传动杆的顶端；所述驱动马达与所述控制电路电连接。

6.根据权利要求5所述的基板自动对位夹具装置，其特征在于，所述控制电路包括控制器和反馈放大电路，所述控制器与所述驱动马达和所述反馈放大电路电连接，所述反馈放大电路分别与所述距离传感器和所述压力传感器电连接。

7.一种基板自动对位方法，其特征在于，包括：

在基台上放置所述基板；

至少根据距离传感器的反馈信号，控制第一组推压夹具中的推压夹具分别移动至预设位置；

至少根据压力传感器的反馈信号，控制第二组推压夹具中的推压夹具移动，直至以预设压力夹持所述基板；

其中，所述第一组推压夹具和所述第二组推压夹具分别包括至少三个推压夹具，所述第一组推压夹具中的所述推压夹具分布在所述基台相接的两条边上，所述第二组推压夹具分布在所述基台相接的另外两条边上；至少所述第一组推压夹具中的所述推压夹具上设置有距离传感器，至少所述第二组推压夹具中的所述推压夹具上设置有压力传感器，所述距离传感器用于测量所述推压夹具与所述基台的距离，所述压力传感器用于测量所述推压夹具与所述基板之间的压力。

8.根据权利要求7所述的基板自动对位方法，其特征在于，所述第一组推压夹具中的所述推压夹具上设置有所述距离传感器，所述第二组推压夹具中的所述推压夹具上设置有所述压力传感器；

至少根据所述距离传感器的反馈信号，控制所述第一组推压夹具中的推压夹具分别移动至预设位置，包括：

根据所述距离传感器的反馈信号，控制所述第一组推压夹具中的推压夹具分别移动至预设位置；

至少根据所述压力传感器的反馈信号，控制所述第二组推压夹具中的推压夹具移动，直至夹持所述基板，包括：

根据所述压力传感器的反馈信号，控制所述第二组推压夹具中的推压夹具移动，直至以预设压力夹持所述基板。