[发明专利]柔性传动机构、往复运动机构及升降装置有效

专利信息
申请号: 201910702119.6 申请日: 2019-07-31
公开(公告)号: CN112298940B 公开(公告)日: 2021-09-17
发明(设计)人: 李冰;陈淮阳;郑教增;庞飞;郝凤龙 申请(专利权)人: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
主分类号: B65G35/00 分类号: B65G35/00;B66F7/14;B66F7/28
代理公司: 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 代理人: 王宏婧
地址: 201203 上*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 柔性 传动 机构 往复 运动 升降 装置
【权利要求书】:

1.一种往复运动机构,其特征在于,包括机架、载物台、原动件、从动件、导向机构、弹性机构以及柔性传动机构,所述原动件、从动件、导向机构和柔性传动机构均设置在所述机架上;所述导向机构至少包括一组导轨滑块机构,且所述载物台安装在所述导轨滑块机构的滑块上;所述柔性传动机构分别连接所述从动件和所述载物台;

所述柔性传动机构包括X向调整件、Y向调整件和调整底座,所述X向调整件与所述从动件固定连接,所述Y向调整件安装在所述X向调整件上并能够相对于所述X向调整件沿X向移动,所述调整底座与所述载物台固定连接,且所述调整底座安装在所述Y向调整件上并能够相对于所述Y向调整件沿Y向移动;

所述弹性机构用于提供弹性力,以使所述调整底座、Y向调整件和X向调整件处于相互贴合状态;

其中:所述原动件用于驱动所述从动件沿轴向运动,且所述从动件用于通过所述柔性传动机构驱动所述载物台在所述导轨滑块机构的直线导轨上沿Z向移动;当所述载物台在所述直线导轨上沿Z向移动时,所述Y向调整件能够带动所述载物台相对于所述从动件沿X向移动,且所述调整底座能够带动所述载物台相对于所述从动件沿Y向移动,所述Z向、Y向和X向相互垂直。

2.根据权利要求1所述的往复运动机构,其特征在于,所述弹性机构包括至少一根弹簧,设置在所述X向调整件的一侧。

3.根据权利要求1所述的往复运动机构,其特征在于,所述往复运动机构还包括:

机械限位装置,用于限定所述载物台往回移动的最大距离。

4.根据权利要求3所述的往复运动机构,其特征在于,所述机械限位装置包括至少一个限位块,设置在所述载物台的一侧,用于与所述载物台抵靠。

5.根据权利要求3所述的往复运动机构,其特征在于,所述往复运动机构还包括:

电气限位装置,用于确定所述载物台往回移动时所述原动件停止运行的时间。

6.根据权利要求5所述的往复运动机构,其特征在于,所述电气限位装置包括至少一个传感器,设置在所述调整底座上;所述传感器用于感测所述X向调整件的位置,且当所述X向调整件不在所述传感器的感应范围内时,所述原动件停止运行。

7.根据权利要求6所述的往复运动机构,其特征在于,所述X向调整件上形成有朝向所述传感器方向的表面凸起,且所述Y向调整件上形成有避让所述表面凸起的通孔结构,同时所述传感器用于透过所述通孔结构感测所述表面凸起的位置。

8.根据权利要求6或7所述的往复运动机构,其特征在于,所述电气限位装置还包括上位机,与所述传感器通信连接;

当所述X向调整件在所述传感器的感应范围内时,所述传感器向所述上位机输出第一信号;

当所述X向调整件不在所述传感器的感应范围内时,所述传感器向所述上位机输出第二信号,所述第二信号不同于第一信号;

当所述上位机接收到所述传感器发送的第二信号时控制所述原动件停止运行。

9.根据权利要求1所述的往复运动机构,其特征在于,所述原动件为电机,且所述从动件为丝杠。

10.根据权利要求1所述的往复运动机构,其特征在于,所述导向机构包括两组导轨滑块机构,一组导轨滑块机构包括相配合的第一滑块和第一层直线导轨,另一组导轨滑块机构包括相配合的第二滑块和第二层直线导轨,所述第一层直线导轨安装在所述机架上,所述第二层直线导轨安装在所述第一滑块上,且所述载物台安装在所述第二滑块上。

11.根据权利要求1所述的往复运动机构,其特征在于,所述柔性传动机构还包括:X向限位装置,用于限制所述Y向调整件以及所述调整底座沿X向移动的最大距离。

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