[发明专利]柔性传动机构、往复运动机构及升降装置

说明书

本发明涉及一种柔性传动机构、往复运动机构及升降装置，能够实现高精度的传动，保证运动的可靠性。本发明的往复运动机构包括机架、载物台、原动件、从动件、导向机构和柔性传动机构，所述导向机构至少包括一组导轨滑块机构，且所述载物台安装在导轨滑块机构的滑块上，所述柔性传动机构分别连接从动件和载物台。实际应用时，所述原动件用于驱动从动件沿轴向运动，且所述从动件用于通过柔性传动机构驱动载物台在导轨滑块机构的直线导轨上沿Z向移动，而所述柔性传动机构能够带动载物台相对于从动件沿X向和Y向移动。这样做即使导轨和做直线运动的从动件存在不平行的问题，也能够确保机构顺畅运行。

技术领域

本发明涉及一种柔性传动机构、往复运动机构及升降装置。

背景技术

在目前的半导体光刻工序中，需要存放掩模版图形盒的版库。现有技术中所使用的版库大多数能够容纳多个掩模版图形盒，每个掩模版图形盒通过一套升降装置实现掩模版的取放。

在目前的升降装置中，配置有版架承载台和版盒盖承载台，版架承载台被固定设置，而版盒盖承载台能够相对于版架承载台做升降运动。更详细地，掩模版图形盒被放置在版架承载台上，而版盒盖承载台与掩模版图形盒的盖子相配合，实现掩模版图形盒的开启和锁闭。现有为了在有限的竖向空间内实现版盒盖承载台的大行程，在升降装置中还配置了双层导轨，该双层导轨在水平方向层叠设置，从而版盒盖承载台沿双层导轨在竖直方向上运动。

然而双层导轨的介入，使得双层导轨与驱动版盒盖承载台运动的丝杆出现了不平行的问题，导致运动过程中滑块出现卡死或丝杆被损坏的问题，从而影响了掩模版的正常取放，降低了生产效率。而且版盒盖承载台在复位时也难以与版架承载台完全贴合，导致版盒盖承载台的运动位置出现偏差，影响了掩模版图形盒的正常开启和锁闭，不仅于此，复位的不正确也容易损伤运动机构，降低产品的可靠性。

发明内容

本发明的一个目的在于提供一种柔性传动机构，旨在解决升降装置中丝杆与导轨不平行导致运动卡死以及运动机构被损坏的问题。

本发明的另一个目的在于提供一种往复运动机构，旨在解决机构往复运动卡死以及复位不正确的问题。

本发明的又一个目的在于提供一种升降装置，旨在解决升降运动卡死以及复位不正确的问题。

为实现上述目的，本发明提供的一种柔性传动机构，分别用于与从动件和载物台连接，所述从动件用于通过所述柔性传动机构驱动所述载物台在直线导轨上沿Z向移动，所述柔性传动机构包括：

X向调整件，与所述从动件固定连接；

Y向调整件，安装在所述X向调整件上并能够相对于所述X向调整件沿X向移动；以及

调整底座，与所述载物台固定连接，且所述调整底座安装在所述Y向调整件上并能够相对于所述Y向调整件沿Y向移动；

当所述载物台在直线导轨上沿Z向移动时，所述Y向调整件能够带动所述载物台相对于所述从动件沿X向移动，且所述调整底座能够带动所述载物台相对于所述从动件沿Y向移动，所述Z向、Y向和X向相互垂直。

可选地，所述柔性传动机构还包括：X向限位装置，用于限制所述Y向调整件以及所述调整底座沿X向移动的最大距离。

可选地，所述X向限位装置包括一端开口的内腔，形成于所述调整底座；

所述X向调整件和所述Y向调整件均安装在所述内腔中，且所述X向调整件与所述内腔在X向上存在一定的空隙以允许所述Y向调整件和所述调整底座在X向上移动一定距离。

可选地，所述柔性传动机构还包括：Y向限位装置，用于限制所述调整底座沿Y向移动的最大距离。