[发明专利]一种机械手交接工位标定方法、装置、设备及存储介质有效

专利信息
申请号: 201910702431.5 申请日: 2019-07-31
公开(公告)号: CN112296997B 公开(公告)日: 2022-01-14
发明(设计)人: 周文贤;向军;郑教增;姜杰;朱正平;庞飞;郝凤龙;牛增欣 申请(专利权)人: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
主分类号: B25J9/16 分类号: B25J9/16;G03F7/20
代理公司: 北京品源专利代理有限公司 11332 代理人: 孟金喆
地址: 201203 上海市浦*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 一种 机械手 交接 标定 方法 装置 设备 存储 介质
【权利要求书】:

1.一种机械手交接工位标定方法,其特征在于,机械手包括第一标定部,工件台包括与所述第一标定部对应的第二标定部,所述第二标定部具有“V”形槽,所述“V”形槽的内壁包括两侧的第一内壁和第二内壁,所述机械手交接工位标定方法包括:

在通过控制所述机械手的运动带动所述第一标定部与所述“V”形槽的所述第一内壁发生第n-1次碰撞后,控制所述机械手以第一步进方向以及第一步进距离进行步进,并控制所述机械手沿碰撞方向运动至所述第一标定部与所述“V”形槽的内壁发生第n次碰撞,其中,所述第一步进方向为所述第一内壁指向所述第二内壁的方向,所述碰撞方向垂直于所述第一步进方向,n≥2;

判断第n-1次碰撞的碰撞点和第n次碰撞的碰撞点是否位于所述“V”形槽同一侧的内壁上;

若所述第一标定部与所述“V”形槽第n次碰撞的碰撞点和所述第一标定部与所述“V”形槽第n-1次碰撞的碰撞点,位于所述“V”形槽同一侧的内壁上,则控制所述机械手以所述第一步进方向以及所述第一步进距离进行步进,并控制所述机械手沿所述碰撞方向运动至所述第一标定部与所述“V”形槽的内壁发生第n+1次碰撞;

若所述第一标定部与所述“V”形槽第n次碰撞的碰撞点和所述第一标定部与所述“V”形槽第n-1次碰撞的碰撞点,位于所述“V”形槽不同侧的内壁上,则控制所述机械手以第二步进方向以及第二步进距离进行步进,并控制所述机械手沿所述碰撞方向运动至所述第一标定部与所述“V”形槽的内壁发生第n+1次碰撞,其中,所述第二步进方向与所述第一步进方向相反,所述第二步进距离小于所述第一步进距离;

所述机械手交接工位标定方法还包括:

在所述第一标定部每次与所述“V”形槽发生碰撞时,判断是否满足工位标定指标,若不满足所述工位标定指标,则继续执行所述第一标定部与所述“V”形槽的碰撞操作,直至满足所述工位标定指标。

2.根据权利要求1所述的机械手交接工位标定方法,其特征在于,所述第二步进距离为所述第一步进距离的一半。

3.根据权利要求1所述的机械手交接工位标定方法,其特征在于,所述判断是否满足工位标定指标,包括:

确定所述第一标定部与所述“V”形槽的碰撞次数;

在确定所述碰撞次数达到预设次数时,确定满足工位标定指标。

4.根据权利要求1所述的机械手交接工位标定方法,其特征在于,在所述第一标定部每次与所述“V”形槽发生碰撞后,还包括:

控制所述机械手沿所述碰撞方向回退预设距离。

5.根据权利要求1所述的机械手交接工位标定方法,其特征在于,所述判断第n-1次碰撞的碰撞点和第n次碰撞的碰撞点是否位于所述“V”形槽同一侧的内壁上,包括:

基于光源在四象限传感器上形成的光斑的坐标信息,确定所述碰撞点位于所述“V”形槽的第一内壁或第二内壁;其中,

所述机械手包括机械臂、检测机构和执行器,所述第一标定部设置于所述执行器上,所述执行器与所述机械臂通过检测机构连接;

所述检测机构包括光源、四象限传感器和遮光部,所述遮光部上设置有一通孔,所述光源与所述四象限传感器相对固定设置,所述遮光部设置于所述光源与所述四象限传感器之间,所述遮光部与所述执行器连接。

6.根据权利要求5所述的机械手交接工位标定方法,其特征在于,所述基于光源在四象限传感器上形成的光斑的坐标信息,确定所述碰撞点位于所述“V”形槽的第一内壁或第二内壁,包括:

若所述光斑位于所述四象限传感器的第一象限或第四象限,则确定所述碰撞点位于所述“V”形槽的第一内壁;

若所述光斑位于所述四象限传感器的第二象限或第三象限,则确定所述碰撞点位于所述“V”形槽的第二内壁。

7.根据权利要求3所述的机械手交接工位标定方法,其特征在于,所述机械手以第一步进方向进行步进的初始步进距离为1mm,所述预设次数为9次。

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