[发明专利]一种机械手交接工位标定方法、装置、设备及存储介质

说明书

本发明公开了一种机械手交接工位标定方法、装置、设备及存储介质。方法包括：在发生碰撞后，判断最近的前两次碰撞的碰撞点是否位于“V”形槽同一侧的内壁上，若是，则控制机械手以前一次步进的步进方向和步进距离进行步进，并控制机械手沿碰撞方向运动直至第一标定部与“V”形槽的内壁发生碰撞；若否，则控制机械手以第二步进方向以及第二步进距离进行步进，并控制机械手沿碰撞方向运动直至第一标定部与“V”形槽的内壁发生碰撞，在每次碰撞时，判断是否满足工位标定指标，若否，则继续执行碰撞操作，直至满足工位标定指标。本发明在保证工位标定精度的前提下，减少了第一标定部与“V”形槽的碰撞次数，减少了标定时间，提高了标定效率。

技术领域

本发明实施例涉及光刻设备领域，尤其涉及一种机械手交接工位标定方法、装置、设备及存储介质。

背景技术

光刻设备是一种将掩模图案曝光成像到硅片上的设备，在光刻设备中，基底传输系统用于快速、准确、可靠地基底传输到工件台或基底库中。随着集成电路制造行业技术不断发展，芯片刻线精度不断提高，对传输系统提出的要求体现在硅片传输到工件台上的精度也随之提高，即对机械手与工件台的交接工位的标定精度要求越来越高。

现有硅片传输分系统中，主要采用如下两种方法进行交接工位标定：

1)采用机械手低速微动，人工现场肉眼观察完成交接工位标定，这种方式不但耗时较长、效率低下，并且可靠性和精确度差。

2)采用机械手片叉的第一标定部碰撞工件台上的第二标定部的“V”形槽，连续碰撞“V”形槽的左侧和右侧，拟合“V”形槽两侧的曲线，从而计算“V”形槽的正中位置作为交接工位。该方法碰撞点数较多，耗时过长，需要拟合两条曲线，引入误差被放大。

发明内容

本发明提供一种机械手交接工位标定方法、装置、设备及存储介质，在保证工位标定精度的前提下，减少了第一标定部与“V”形槽的碰撞次数，减少了标定时间，提高了标定效率。

第一方面，本发明实施例提供了一种机械手交接工位标定方法，机械手包括第一标定部，工件台包括与所述第一标定部对应的第二标定部，所述第二标定部具有“V”形槽，所述“V”形槽的内壁包括两侧的第一内壁和第二内壁，所述机械手交接工位标定方法包括：

在通过控制所述机械手的运动带动所述第一标定部与所述“V”形槽的内壁发生第n-1次碰撞后，控制所述机械手以第一步进方向以及第一步进距离进行步进，并控制所述机械手沿碰撞方向运动至所述第一标定部与所述“V”形槽的内壁发生第n次碰撞，其中，所述第一步进方向平行于由所述第一内壁指向所述第二内壁的方向，所述碰撞方向垂直于所述第一步进方向，n≥2；

判断第n-1次碰撞的碰撞点和第n次碰撞的碰撞点是否位于所述“V”形槽同一侧的内壁上；

若所述第一标定部与所述“V”形槽第n次碰撞的碰撞点和所述第一标定部与所述“V”形槽第n-1次碰撞的碰撞点，位于所述“V”形槽同一侧的内壁上，则控制所述机械手以所述第一步进方向以及所述第一步进距离进行步进，并控制所述机械手沿所述碰撞方向运动至所述第一标定部与所述“V”形槽的内壁发生第n+1次碰撞；

若所述第一标定部与所述“V”形槽第n次碰撞的碰撞点和所述第一标定部与所述“V”形槽第n-1次碰撞的碰撞点，位于所述“V”形槽不同侧的内壁上，则控制所述机械手以第二步进方向以及第二步进距离进行步进，并控制所述机械手沿所述碰撞方向运动至所述第一标定部与所述“V”形槽的内壁发生第n+1次碰撞，其中，所述第二步进方向与所述第一步进方向相反，所述第二步进距离小于所述第一步进距离；

所述机械手交接工位标定方法还包括：

在所述第一标定部每次与所述“V”形槽发生碰撞时，判断是否满足工位标定指标，若不满足所述工位标定指标，则继续执行所述第一标定部与所述“V”形槽的碰撞操作，直至满足所述工位标定指标。