[发明专利]一种扫描电镜在高温下的扫描图像修复方法及系统

权利要求书

1.一种扫描电镜在高温下的扫描图像修复方法，其特征在于，包括：

获取带有扰动信号的样品扫描图像；所述带有扰动信号的样品扫描图像为带有亮白条纹的扫描图像；所述亮白条纹为热电子释放时产生的扰动信号；其中，所述亮白条纹的亮度越高，热电子释放越多，释放电压越大；

对所述带有扰动信号的样品扫描图像进行修正，直至所述带有扰动信号的样品扫描图像上的亮白条纹消失，确定修正后的样品扫描图像以及最佳修正系数；

获取所述最佳修正系数所对应的所述修正后的样品扫描图像的当前热电子释放时产生的释放电压值；

根据所述最佳修正系数以及所述释放电压值建立最佳修正系数-释放电压值关系；所述根据所述最佳修正系数以及所述释放电压值建立最佳修正系数-释放电压值关系，具体包括：获取多组带有扰动信号的样品扫描图像，并确定多组带有扰动信号的样品扫描图像分别对应的多组最佳修正系数，并获取多组最佳修正系数对应的当前热电子释放时产生的释放电压值；对所述最佳修正系数以及所述释放电压值进行拟合，确定最佳修正系数-释放电压值关系；

根据所述最佳修正系数-释放电压值关系对待修复的样品扫描图像进行修复。

2.根据权利要求1所述的扫描电镜在高温下的扫描图像修复方法，其特征在于，所述对所述带有扰动信号的样品扫描图像进行修正，直至所述带有扰动信号的样品扫描图像上的亮白条纹消失，确定修正后的样品扫描图像以及最佳修正系数，具体包括：

获取所述带有扰动信号的样品扫描图像上的亮白条纹的RGB值；

将所述RGB值进行放大或缩小，确定当前修正系数；所述当前修正系数为放大倍数或缩小倍数；

在当前修正系数下，判断所述亮白条纹是否消失，得到第一判断结果；

若所述第一判断结果表示为所述亮白条纹消失，确定修正后的样品扫描图像以及最佳修正系数；

若所述第一判断结果表示为所述亮白条纹未消失，返回“将所述RGB值进行放大或缩小，确定当前修正系数”的步骤。

3.根据权利要求1所述的扫描电镜在高温下的扫描图像修复方法，其特征在于，所述根据所述最佳修正系数-释放电压值关系对待修复的样品扫描图像进行修复，具体包括：

获取待修复的样品扫描图像的释放电压值；

根据所述最佳修正系数-释放电压值关系，确定所述待修复的样品扫描图像的最佳修正系数；

根据所述待修复的样品扫描图像的最佳修正系数对所述待修复的样品扫描图像进行修复。

4.一种扫描电镜在高温下的扫描图像修复系统，其特征在于，包括：

带有扰动信号的样品扫描图像获取模块，用于获取带有扰动信号的样品扫描图像；所述带有扰动信号的样品扫描图像为带有亮白条纹的扫描图像；所述亮白条纹为热电子释放时产生的扰动信号；其中，所述亮白条纹的亮度越高，热电子释放越多，释放电压越大；

修正模块，用于对所述带有扰动信号的样品扫描图像进行修正，直至所述带有扰动信号的样品扫描图像上的亮白条纹消失，确定修正后的样品扫描图像以及最佳修正系数；

释放电压值获取模块，用于获取所述最佳修正系数所对应的所述修正后的样品扫描图像的当前热电子释放时产生的释放电压值；

最佳修正系数-释放电压值关系建立模块，用于根据所述最佳修正系数以及所述释放电压值建立最佳修正系数-释放电压值关系；所述最佳修正系数-释放电压值关系建立模块具体包括：多组最佳修正系数获取单元，用于获取多组带有扰动信号的样品扫描图像，并确定多组带有扰动信号的样品扫描图像分别对应的多组最佳修正系数，并获取多组最佳修正系数对应的当前热电子释放时产生的释放电压值；最佳修正系数-释放电压值关系建立单元，用于对所述最佳修正系数以及所述释放电压值进行拟合，确定最佳修正系数-释放电压值关系；

修复模块，用于根据所述最佳修正系数-释放电压值关系对待修复的样品扫描图像进行修复。