[发明专利]一种扫描电镜在高温下的扫描图像修复方法及系统

说明书

本发明公开了一种扫描电镜在高温下的扫描图像修复方法及系统。所述修复方法包括：获取带有扰动信号的样品扫描图像；对所述带有扰动信号的样品扫描图像进行修正，直至所述带有扰动信号的样品扫描图像上的亮白条纹消失，确定修正后的样品扫描图像以及最佳修正系数；获取所述最佳修正系数所对应的所述修正后的样品扫描图像的当前热电子释放时产生的释放电压值；根据所述最佳修正系数以及所述释放电压值建立最佳修正系数‑释放电压值关系；根据所述最佳修正系数‑释放电压值关系对待修复的样品扫描图像进行修复。采用本发明所提供的修复方法及系统能够消除高温扫描图像出现亮度变化的横条纹，提高高温扫描图像的成像质量。

技术领域

本发明涉及图片修复领域，特别是涉及一种扫描电镜在高温下的扫描图像修复方法及系统。

背景技术

飞机发动机的金属材料工作在几百甚至上千摄氏度，为了研究该类材料的各种性能，需要在扫描电镜真空腔室内对其加热，观察其微观组织结构的变化。扫描电镜在内部高温环境下进行高温观测实验时，利用二次电子探头进行成像，当加热温度接近或超过1000摄氏度时，热电子急剧增加，在一定的电磁干扰下会产生一定规律的干扰扰动，对高温成像产生影响，具体表现为图片出现亮度变化的横条纹，影响成像效果。

发明内容

本发明的目的是提供一种扫描电镜在高温下的扫描图像修复方法及系统，以解决高温扫描图像出现亮度变化的横条纹，影响成像效果的问题。

为实现上述目的，本发明提供了如下方案：

一种扫描电镜在高温下的扫描图像修复方法，包括：

获取带有扰动信号的样品扫描图像；所述带有扰动信号的样品扫描图像为带有亮白条纹的扫描图像；所述亮白条纹为热电子释放时产生的扰动信号；其中，所述亮白条纹的亮度越高，热电子释放越多，释放电压越大；

对所述带有扰动信号的样品扫描图像进行修正，直至所述带有扰动信号的样品扫描图像上的亮白条纹消失，确定修正后的样品扫描图像以及最佳修正系数；

获取所述最佳修正系数所对应的所述修正后的样品扫描图像的当前热电子释放时产生的释放电压值；

根据所述最佳修正系数以及所述释放电压值建立最佳修正系数-释放电压值关系；

根据所述最佳修正系数-释放电压值关系对待修复的样品扫描图像进行修复。

可选的，所述对所述带有扰动信号的样品扫描图像进行修正，直至所述带有扰动信号的样品扫描图像上的亮白条纹消失，确定修正后的样品扫描图像以及最佳修正系数，具体包括：

获取所述带有扰动信号的样品扫描图像上的亮白条纹的RGB值；

将所述RGB值进行放大或缩小，确定当前修正系数；所述当前修正系数为放大倍数或缩小倍数；

在当前修正系数下，判断所述亮白条纹是否消失，得到第一判断结果；

若所述第一判断结果表示为所述亮白条纹消失，确定修正后的样品扫描图像以及最佳修正系数；

若所述第一判断结果表示为所述亮白条纹未消失，返回“将所述RGB值进行放大或缩小，确定当前修正系数”的步骤。

可选的，所述根据所述最佳修正系数以及所述释放电压值建立最佳修正系数-释放电压值关系，具体包括：

获取多组带有扰动信号的样品扫描图像，并确定多组带有扰动信号的样品扫描图像分别对应的多组最佳修正系数，并获取多组最佳修正系数对应的当前热电子释放时产生的释放电压值；

对所述最佳修正系数以及所述释放电压值进行拟合，确定最佳修正系数-释放电压值关系。

可选的，所述根据所述最佳修正系数-释放电压值关系对待修复的样品扫描图像进行修复，具体包括：