[发明专利]一种自动称重晶体提拉生长装置

权利要求书

1.一种自动称重晶体提拉生长装置，其特征在于，包括支架(11)、升降机构，旋转机构、称重机构(17)、生长炉和控制器；

升降机构包括导向柱(12)、滑轮(13)、提拉绳(14)、连接杆(15)和收卷组件(16)，称重机构(17)安装在支架(11)上，滑轮(13)转动安装在称重机构(17)上，提拉绳(14)绕过滑轮(13)与收卷组件(16)固定连接，收卷组件(16)安装在支架(11)上，提拉绳(14)另一端与连接杆(15)固定连接，连接杆(15)第一端与导向柱(12)滑动连接，导向柱(12)竖直布置；

旋转机构包括电机(18)和籽晶杆(19)，电机(18)安装在连接杆(15)第二端顶部，电机(18)的输出轴贯穿连接杆(15)并与籽晶杆(19)第一端可拆卸固定，籽晶杆(19)第二端设有用于装夹籽晶的夹头；

生长炉包括炉体，炉体具有炉腔，炉腔内设有坩埚，称重机构信号连接控制器，控制器分别控制连接收卷组件(16)、炉体和电机(18)。

2.根据权利要求1所述的自动称重晶体提拉生长装置，其特征在于，炉体包括壳体(1)、内筒体(8)和至少一个隔热毡(4)，内筒体(8)采用绝缘保温材料制成，隔热毡(4)设置在内筒体(8)内并将内筒体(8)隔成多个温度区，隔热毡(4)中部均设有用于容纳籽晶杆和晶体通过的通孔，每个温度区设有用于测量该区温度的温度传感器；

每个温度区的内筒体(8)内侧上均设有用于加热该温度区的加热组件，每个温度区对应的内筒体(8)和壳体(1)之间设有用于冷却该温度区的冷却组件，每个温度区内设有至少一个导热杆(7)，导热杆(7)穿过内筒体(8)与冷却组件固定连接；

温度传感器信号连接控制器，控制器分别控制连接每个温度区的加热组件和冷却组件。

3.根据权利要求2所述的自动称重晶体提拉生长装置，其特征在于，加热组件包括环设于内筒体(8)内侧的发热体(10)和环设于发热体(10)和内筒体(8)内壁之间的感应加热圈(9)，控制器控制连接感应加热圈(9)。

4.根据权利要求2所述的自动称重晶体提拉生长装置，其特征在于，冷却组件包括冷却管道(5)，冷却管道(5)底部设有进液口，冷却管道(5)上端设有出液口，冷却管道(5)上设有散热板(6)，导热杆(7)与散热板(6)固定连接。

5.根据权利要求3所述的自动称重晶体提拉生长装置，其特征在于，还包括循环组件，循环组件包括冷水箱、循环泵和冷凝器，冷水箱、循环泵和进液口依次通过管道连接，出液口、冷凝器和冷水箱依次通过管道连接，循环泵和进液口之间的管道上设有进液阀，出液阀和进液口之间的管道上设有流量调节阀，出液口和冷凝器之间的管道上设有出液阀，控制器分别控制连接循环泵、进液阀、出液阀、冷凝器和流量调节阀。

6.根据权利要求3所述的晶体生长炉，其特征在于，壳体内侧依次设有第一保温层(2)和第二保温层(3)，每一个冷却组件的冷水管道(5)的进液端设置在第一保温层(2)和第二保温层(3)之间。