[发明专利]一种自动称重晶体提拉生长装置

说明书

本发明提出的一种自动称重晶体提拉生长装置，包括支架、升降机构，旋转机构、称重机构、生长炉和控制器，升降机构包括导向柱、滑轮、提拉绳、连接杆和收卷组件，称重机构安装在支架上，滑轮转动安装在称重机构上，提拉绳绕过滑轮与收卷组件固定连接，收卷组件安装在支架上，提拉绳另一端与连接杆固定连接，连接杆第一端与导向柱滑动连接，导向柱竖直布置，旋转机构包括电机和籽晶杆，电机安装在连接杆第二端顶部，电机的输出轴贯穿连接杆并与籽晶杆可拆卸固定，生长炉包括炉体，炉体具有炉腔，炉腔内设有坩埚，称重机构信号连接控制器，控制器分别控制连接收卷组件、炉体和电机。本发明可有效提高晶体质量，适应不同的晶体生产要求。

技术领域

本发明涉及晶体生长技术领域，具体涉及一种自动称重晶体提拉生长装置。

背景技术

晶体生长炉是常用的一种晶体生长设备。在生产晶体时，一般考虑晶体的提升速度对晶体的质量的影响，但并未考虑晶体的转速对晶体的质量的影响。而且现有技术中的晶体生长炉的温度梯度固定，不能根据实际要求进行调节。

发明内容

基于背景技术存在的技术问题，本发明提出的一种自动称重晶体提拉生长装置。

本发明提出的一种自动称重晶体提拉生长装置，包括支架、升降机构，旋转机构、称重机构、生长炉和控制器；

升降机构包括导向柱、滑轮、提拉绳、连接杆和收卷组件，称重机构安装在支架上，滑轮转动安装在称重机构上，提拉绳绕过滑轮与收卷组件固定连接，收卷组件安装在支架上，提拉绳另一端与连接杆固定连接，连接杆第一端与导向柱滑动连接，导向柱竖直布置；

旋转机构包括电机和籽晶杆，电机安装在连接杆第二端顶部，电机的输出轴贯穿连接杆并与籽晶杆第一端可拆卸固定，籽晶杆第二端设有用于装夹籽晶的夹头；

生长炉包括炉体，炉体具有炉腔，炉腔内设有坩埚，称重机构信号连接控制器，控制器分别控制连接收卷组件、炉体和电机。

优选地，炉体包括壳体、内筒体和至少一个隔热毡，内筒体采用绝缘保温材料制成，隔热毡由上向下依次设置在内筒体内并将内筒体隔成多个温度区，每个隔热毡中部均设有用于容纳籽晶杆和晶体通过的通孔，每个温度区设有用于测量该区温度的温度传感器；

每个温度区的内筒体内侧均设有用于加热该温度区的加热组件，每个温度区对应的壳体和内筒体之间设有用于冷却该温度区的冷却组件，每个温度区内设有至少一个导热杆，导热杆穿过内筒体与冷却组件固定连接；

温度传感器信号连接控制器，控制器分别控制连接每个温度区的加热组件和冷却组件。

优选地，加热组件包括环设于内筒体内侧的发热体和环设于发热体和内筒体内壁之间的感应加热圈，控制器控制连接感应加热圈。

优选地，冷却组件包括冷却管道，冷却管道底部设有进液口，冷却管道上端设有出液口，冷却管道上设有散热板，导热杆与散热板固定连接。

优选地，还包括循环组件，循环组件包括冷水箱、循环泵和冷凝器，冷水箱、循环泵和进液口依次通过管道连接，出液口、冷凝器和冷水箱依次通过管道连接，循环泵和进液口之间的管道上设有进液阀，出液阀和进液口之间的管道上设有流量调节阀，出液口和冷凝器之间的管道上设有出液阀，控制器分别控制连接循环泵、进液阀、出液阀、冷凝器和流量调节阀。

优选地，壳体内侧依次设有第一保温层和第二保温层，每一个冷却组件的冷水管道的进液端设置在第一保温层和第二保温层之间。

本发明提出的一种自动称重晶体提拉生长装置，具有以下有益效果：

(1)通过设置升降机构、旋转机构和称量机构的配合使控制器根据称重机构获得晶体的实时重量控制收卷组件和电机动作以适应不同阶段的晶体的生长要求，而且导向柱用于保证提升不会错位，提高晶体质量。