[发明专利]一种具有加热装置的蒸镀坩埚

权利要求书

1.一种具有加热装置的蒸镀坩埚，其特征在于，包括设有喷嘴的坩埚本体、蒸发源遮挡板和控制器，所述蒸发源遮挡板位于所述喷嘴上方；

所述蒸发源遮挡板远离所述喷嘴的一侧面上设有加热装置，所述加热装置包括壳体，所述壳体的内腔设有加热单元和温度传感器，所述加热单元设置在所述壳体内腔靠近所述蒸发源遮挡板的一侧面上，所述加热单元被配置为提供将所述蒸发源遮挡板上附着的蒸镀物加热至汽态所需的热量；

所述控制器分别与所述加热单元和温度传感器电连接，所述控制器被配置为当所述温度传感器检测到所述壳体内腔的当前的温度值高于预设温度值时控制所述加热单元保持当前产生的热量使得所述壳体内腔维持在当前的温度值。

2.根据权利要求1所述的具有加热装置的蒸镀坩埚，其特征在于，所述加热单元包括金属软管、支架和励磁线圈，所述励磁线圈与所述控制器电连接，所述支架固定设置在所述壳体内腔，所述支架靠近所述蒸发源遮挡板的一侧面上设有磁条，所述磁条上设有缺口，所述励磁线通过所述缺口缠绕在所述磁条上，所述金属软管设置在所述支架靠近所述蒸发源遮挡板的一侧面的相对另一侧面上，所述金属软管与外设的冷却水管路连接。

3.根据权利要求1所述的具有加热装置的蒸镀坩埚，其特征在于，所述壳体设有开口且所述开口朝向所述蒸发源遮挡板设置，所述加热装置还包括陶瓷板，所述陶瓷板封闭住所述壳体的开口，所述陶瓷板与所述蒸发源遮挡板接触。

4.根据权利要求1所述的具有加热装置的蒸镀坩埚，其特征在于，所述预设温度值为10-20℃。

5.根据权利要求1所述的具有加热装置的蒸镀坩埚，其特征在于，所述加热装置的数量、蒸发源遮挡板的数量和坩埚本体的数量均相等且所述加热装置的形状与所属蒸发源遮挡板的形状相适配。

6.根据权利要求1所述的具有加热装置的蒸镀坩埚，其特征在于，所述蒸发源遮挡板的数量和坩埚本体的数量相等，多个所述蒸发源遮挡板共用一个所述加热装置。

7.根据权利要求1所述的具有加热装置的蒸镀坩埚，其特征在于，还包括第一升降机构，所述第一升降机构设置在所述蒸发源遮挡板上且与所述蒸发源遮挡板可拆连接，所述第一升降机构与所述控制器电连接，所述第一升降机构被配置为控制所述蒸发源遮挡板在所述喷嘴上方上升或下降，在所述蒸发源遮挡板下降到所述喷嘴上时，所述控制器控制所述加热单元停止加热。

8.根据权利要求1所述的具有加热装置的蒸镀坩埚，其特征在于，还包括第二升降机构，所述第二升降机构设置在所述加热装置上且与所述加热装置可拆连接，所述第二升降机构被配置为控制所述加热装置在所述蒸发源遮挡板上方上升或下降。