[发明专利]一种具有加热装置的蒸镀坩埚

说明书

本发明涉及蒸镀技术领域，特别涉及一种具有加热装置的蒸镀坩埚，包括设有喷嘴的坩埚本体、蒸发源遮挡板和控制器，蒸发源遮挡板位于喷嘴上方，蒸发源遮挡板远离喷嘴的一侧面上设有加热装置，通过设置加热装置为提供将蒸发源遮挡板上附着的蒸镀物加热至汽态所需的热量，起到自动清理蒸发源遮挡板上附着的材料的作用，避免在每次切换蒸发源遮挡板时材料脱落造成蒸镀源内材料交差污染，且能够避免了定期打开蒸镀腔体更换蒸发源遮挡板而造成的制程时间延长，从而提升了生产效率。

技术领域

本发明涉及蒸镀技术领域，特别涉及一种具有加热装置的蒸镀坩埚。

背景技术

有机发光二极管(Organic Light-emitting Diode，简称为OLED)是继LCD后新一代的显示器，主要采用蒸镀制程工艺，而坩埚作为蒸镀设备的蒸发源往往为多个并列或圆周布置，其内部盛放不同种类的金属或有机材料，在高真空环境下材料受热汽化后沉积到玻璃基板上形成有机薄膜，用于实现OLED器件发光。蒸镀制程中，一般有机材料腔体以线性蒸镀源为主，根据OLED显示器产品的设计要求，器件膜层结构往往不同，例如单一材料蒸镀膜层，或者多材料共蒸镀膜层，因此为实现特定的成膜顺序及膜层结构，就需要蒸镀设备中蒸发源遮挡板切换来转变腔体内成膜的蒸镀源，其切换成膜坩埚原理将坩埚对应的蒸发源遮挡板覆盖在坩埚喷嘴上即可避免材料蒸汽溢出，无蒸发源遮挡板覆盖的坩埚就会参与成膜。但当坩埚喷嘴有蒸发源遮挡板覆盖时内部汽化的材料蒸汽会固化继而附着在蒸发源遮挡板上，随着材料在蒸发源遮挡板上的持续累积，到达一定厚度时容易开裂脱落，此时在蒸发源遮挡板切换过程中若掉落至非对应坩埚内，则会造成蒸镀源内材料的交互污染，因此蒸发源遮挡板需要定期处理，目前处理方式主要是定期地停止蒸镀成膜或蒸镀源降温并打开蒸镀腔体更换蒸发源遮挡板，然后蒸镀源再升温等待镀率稳定后继续成膜，如此会造成制程时间过长，降低生产效率。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是：提供一种能够自动清理蒸发源遮挡板上的附着物的蒸镀坩埚。

为了解决上述技术问题，本发明采用的技术方案为：

一种具有加热装置的蒸镀坩埚，包括设有喷嘴的坩埚本体、蒸发源遮挡板和控制器，所述蒸发源遮挡板位于所述喷嘴上方；

所述蒸发源遮挡板远离所述喷嘴的一侧面上设有加热装置，所述加热装置包括壳体，所述壳体的内腔设有加热单元和温度传感器，所述加热单元设置在所述壳体内腔靠近所述蒸发源遮挡板的一侧面上，所述加热单元被配置为提供将所述蒸发源遮挡板上附着的蒸镀物加热至汽态所需的热量；

所述控制器分别与所述加热单元和温度传感器电连接，所述控制器被配置为当所述温度传感器检测到所述壳体内腔的当前的温度值高于预设温度值时控制所述加热单元保持当前产生的热量使得所述壳体内腔维持在当前的温度值。

本发明的有益效果在于：

由于蒸发源遮挡板上积累过多的有机材料，在切换时有机材料开裂脱落造成蒸镀源内的材料交差污染的风险，通过设置加热装置为提供将蒸发源遮挡板上附着的蒸镀物加热至汽态所需的热量，起到自动清理蒸发源遮挡板上附着的材料的作用，避免在每次切换蒸发源遮挡板时材料脱落造成蒸镀源内材料交差污染，且能够避免了定期打开蒸镀腔体更换蒸发源遮挡板而造成的制程时间延长，从而提升了生产效率。

附图说明

图1为根据本发明的一种具有加热装置的蒸镀坩埚的结构示意图；

图2为根据本发明的一种具有加热装置的蒸镀坩埚的加热装置的结构示意图；

图3为根据本发明的一种具有加热装置的蒸镀坩埚的结构示意图；

图4为根据本发明的一种具有加热装置的蒸镀坩埚的结构示意图；

图5为根据本发明的一种具有加热装置的蒸镀坩埚的成膜情况的结构示意图；

标号说明：