[发明专利]一种高整流比有机复合薄膜的制备方法在审
| 申请号： | 201910720397.4 | 申请日： | 2019-08-06 |
| 公开（公告）号： | CN110438450A | 公开（公告）日： | 2019-11-12 |
| 发明（设计）人： | 蓝碧健 | 申请（专利权）人： | 太仓碧奇新材料研发有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/12 | 分类号： | C23C14/12;C23C14/24 |
| 代理公司： | 苏州市方略专利代理事务所(普通合伙) 32267 | 代理人： | 朱智杰 |
| 地址： | 215400 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 有机复合薄膜 制备 半导体技术领域 三甲氧基苯基 氨基 乙氧基苯基 苯并咪唑 氮杂双环 真空蒸镀 铝箔 二羟基 乙烯基 苯基 丙基 三嗪 香豆 咔唑 咪唑 羧酸 | ||
【权利要求书】：
1.一种高整流比有机复合薄膜的制备方法，其特征在于，具体步骤如下：
将5cm× 4cm× 0.1mm的铝箔置于真空镀膜机中，在真空度为2×10-3 Pa下，在铝箔上依次蒸镀30~50nm厚的2-(4-咔唑-l-基-苯基)-1H-苯并咪唑、30~50nm厚的6R,7R)-7-氨基-3-［2-(4-甲基-5-噻唑)乙烯基］-8-氧代-5-硫-1-氮杂双环［4.2.0］辛-2-烯-2-羧酸 、30~50nm厚的2-(2-乙氧基苯基)-5-甲基-7-丙基-3H-咪唑并[5,1-f][1,2,4]三嗪-4-酮、30~50nm厚的7,8-二羟基-3-(3’,4’,5’-三甲氧基苯基)香豆素、100~150nm厚的铝，得高整流比有机复合薄膜；
其中高整流比有机复合薄膜的性能是，整流比为591万~632万。
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