[发明专利]一种高整流比有机复合薄膜的制备方法

说明书

本发明属于半导体技术领域，具体为一种高整流比有机复合薄膜的制备方法。本发明提出的方法是在铝箔上依次真空蒸镀2‑(4‑咔唑‑l‑基‑苯基)‑1H‑苯并咪唑、6R,7R)‑7‑氨基‑3‑［2‑(4‑甲基‑5‑噻唑)乙烯基］‑8‑氧代‑5‑硫‑1‑氮杂双环［4.2.0］辛‑2‑烯‑2‑羧酸、2‑(2‑乙氧基苯基)‑5‑甲基‑7‑丙基‑3H‑咪唑并[5,1‑f][1,2,4]三嗪‑4‑酮、7,8‑二羟基‑3‑(3’,4’,5’‑三甲氧基苯基)香豆素、铝，得高整流比有机复合薄膜，该有机复合薄膜的整流比为591万~632万。

技术领域

本发明属于半导体技术领域，具体为一种高整流比有机复合薄膜的制备方法。

背景技术

1977年人们发现通过掺杂可以使聚乙炔膜的电导率提高12个量级,由绝缘体变成导体，从此掀起了有机半导体的研究热潮。其研究工作包括有机高分子材料、有机小分子材料和有机分子晶体材料的电学、光学等性质。有机半导体中的载流子除了电子和空穴外，还有孤子、极化子等。人们已经获得低温迁移率高达105 cm²/V.s的高质量有机半导体晶体，在其中观察到量子霍尔效应，并用其制成有机半导体激光器，如今有机半导体彩色显示屏已进入实用阶段。

杨万里等提供了一种分子整流器，其由金刚石形结构分子以及附着于金刚石形结构分子的电子受体组成。所述电子受体通常是共价附着于金刚石形结构的接受电子的芳族物种（CN102026715A）。吕银祥等公开了一种以纳米金颗粒为电极的分子整流器，在结构上是一种“三明治”夹心结构，由底电极、分子整流材料及顶电极组成，其中底电极是纳米级平整的连续的金属膜，分子整流材料为含推电子基团、吸电子基团、共轭π键以及末端巯基的有机分子，顶电极为纳米金颗粒；该器件的整流比值优于目前同类产品的水平（CN1815772）。丁丹丹等公开了一种用于分子整流器的[CuCuNi(npa)₄Cl]^＋分子材料，属于分子材料领域。其分子式为[CuCuNiC₅₆N₁₂H₄₀Cl]^＋，其由Cu和Ni组成的金属轴和端位连接的Cl及环绕金属轴的配体npa-组成，其能用于分子整流器的组装，合成效率高，无毒害，有利于推广应用（CN103980325A）。徐伟等公布了一种分子整流器及其制作工艺，由底电极、顶电极和有机分子取向膜构成的夹层结构,有机分子材料采用乙烯三腈的衍生物,尤其是DMPE、DEPE、DPPE等。该分子整流器的电极制作可采用真空热蒸发方法,有机分子取向膜的制作采用溶液吸附法。由该发明制得的分子整流器件具有很高的整流比,可达到数10倍,甚至趋过100倍,具有广泛的实际应用价值（CN1341972）。J·维泽尔斯等公布了具有整流性质的分子。该发明尤其涉及一种分子整流装置，其中包括通式结构为METAL1－CON1－BRIDGE－CON2－METAL2的分子，其中CON1和CON2为连接基团或连接部分，并且各自独立地表示，以在一个或两个METAL1,2/CON1,2界面上形成具有接近金属费米能量的吸附态的方式键接在METAL1,2上的分子基团，METAL选自金属和/或金属合金，BRIDGE为分子的核心，由π－共轭和非共轭部分组成。此外，本发明还涉及所述分子整流器装置的用途或者其中分子置于至少两个电极之间的电子设备的生产（CN1900083）。

综上所述，将有机复合薄膜夹在两个电极之间，构建三明治结构的电子器件，是大多数柔性二极管的制备技术，有机复合薄膜决定着柔性二极管的性能，但高整流比有机复合薄膜的开发尚处于摸索阶段，需要不断积累知识和经验。本领域技术人员的共识是，有机复合薄膜的整流比不仅仅与薄膜的组成相关，还取决于薄膜的结构，需要协同优化薄膜的组分和结构，以获得高整流比的有机复合薄膜。

发明内容

本发明的目的在于提供一种高整流比有机复合薄膜的制备方法。

本发明提出的高整流比有机复合薄膜的制备方法，具体步骤如下：