[发明专利]干涉测量波度检测系统

权利要求书

1.一种干涉仪检测系统，包括：

分束器，被配置为接收准直光信号并将准直光信号分成沿第一路径行进的第一光信号和沿第二路径行进的第二光信号；

第一镜，被配置为沿第一路径接收和反射第一光信号；

第二镜，被配置为经由透明材料沿第二路径接收和反射第二光信号，所述透明材料沿着分束器和第二镜之间的第二路径定位；和

2D光传感器阵列，被配置为从分束器接收与沿第二路径双程通过透明材料的反射的第二光信号合并的沿着第一路径的反射的第一光信号，并产生干涉条纹图案，

其中，非正弦干涉条纹图案指示沿第一路径的反射的第一光信号的第一波前与沿第二路径双程通过透明材料的反射的第二光信号的第二波前之间的几何变化。

2.根据权利要求1所述的干涉仪检测系统，其中，所述第一镜和所述分束器之间沿着所述第一路径的第一距离等于所述第二镜和所述分束器之间沿着所述第二路径的第二距离。

3.根据权利要求1所述的干涉仪检测系统，其中，沿着第一路径的反射的第一光信号的第一波前与沿第二路径双程通过透明材料的反射的第二光信号的第二波前之间的相位变化是由透明材料的厚度变化或跨透明材料的折射本领的变化引起的。

4.根据权利要求1所述的干涉仪检测系统，其中，所述透明材料包括用于显示模块的盖玻璃。

5.根据权利要求1所述的干涉仪检测系统，其中，所述第二光信号在从所述第二镜反射离开之前从所述分束器行进并穿过所述透明材料，并且在到达所述分束器之前双程通过所述透明材料。

6.根据权利要求1所述的干涉仪检测系统，其中，沿着第一路径的反射的第一光信号的第一波前与沿第二路径双程通过透明材料的反射的第二光信号的第二波前之间的相位变化由干涉条纹图案中多于一个峰或谷来指示。

7.根据权利要求1所述的干涉仪检测系统，其中，所述透明材料的平面与所述镜的平面不平行。

8.根据权利要求1所述的干涉仪检测系统，其中所述透明材料的平面平行于所述镜的平面。

9.根据权利要求1所述的干涉仪检测系统，其中，所述透明材料沿着所述第二路径放置在所述分束器和所述第二镜之间的任何点处。

10.根据权利要求1所述的干涉仪检测系统，其中，正弦干涉条纹图案指示沿着第一路径的反射的第一光信号的第一波前与沿着第二路径双程通过透明材料的反射的第二光信号的第二波前之间的相位没有异常变化。

11.根据权利要求1所述的干涉仪检测系统，进一步包括：

产生光信号的光源，所述光信号被准直以产生准直光信号。

12.一种干涉仪检测系统，包括：

分束器，用于接收具有第一线偏振的准直光信号，并将准直光信号分成沿第一路径行进的第一光信号和沿第二路径行进的第二光信号；

第一四分之一波片；

镜，被配置为通过沿着分束器和镜之间的第一路径定位的第一四分之一波片沿第一路径接收和反射第一光信号；

被测设备（DUT）的显示模块，被配置为沿第二路径接收和反射第二光信号；和

2D光传感器阵列，被配置为从分束器接收与沿第二路径的反射的第二光信号合并的沿着第一路径双程通过四分之一波片的反射的第一光信号，并产生干涉条纹图案，

其中非正弦干涉条纹图案指示沿着第一路径的反射的第一光信号的第一波前与由分束器接收的沿第二路径的反射的第二光信号的第二波前之间的几何变化。

13.根据权利要求12所述的干涉仪检测系统，其中，显示模块包括：

圆偏振器，包括第二四分之一波片和偏振器；和

显示层，被配置用于显示像素图像。