[发明专利]干涉测量波度检测系统

说明书

本申请公开了一种干涉仪检测系统，包括接收准直光信号并将该信号分成第一光信号和第二光信号的分束器。该系统包括第一镜，其沿第一路径接收并反射第一光信号。该系统包括第二镜，其通过透明材料沿第二路径接收和反射第二光信号。该系统包括2D光传感器阵列，其被配置为从分束器接收与双程通过透明材料的反射的第二光信号合并的反射的第一光信号，并且被配置为产生干涉条纹图案。非正弦干涉条纹图案指示沿第一路径的反射的第一光信号的波前与沿第二路径双程通过透明材料的反射的第二光信号的波前之间的几何变化。

优先权声明

本申请要求在2018年8月7 日提交的题为“Interferometric Waviness DetectionSystem”的共同拥有的美国临时专利申请序列号62/715,783的优先权和权益，该美国临时专利申请的全部内容通过引用结合于本文中。

技术领域

本发明一般涉及测试和检测平面透明光学元件和显示器的波度（waviness）（表面/折射率不规则性），并且更具体地涉及用于显示器和组装的显示模块的盖玻璃。

背景技术

平板显示器的波度是用于提供对层压过程控制的洞察和用于提供最终产品质量指示的重要参数。显示模块具有绝对平坦度质量变得越来越重要。特别是在以特定角度观察的情况下，相应的用户可以看到任何不规则图案（波度）。不规则图案将因此降低用户体验。

本文中提供的背景描述是用于一般性地呈现本公开的上下文的目的。就在此背景部分中描述的程度上目前署名的发明人的工作以及在申请时原本可能不适合作为现有技术的描述的各方面既不明确地也不暗示地被承认为针对本公开的现有技术。

正是在这种背景下出现了实施例。

发明内容

本实施例涉及解决相关技术中发现的一个或多个问题，并且更具体地包括用于测试和检测平坦透明光学元件和显示器的波度（表面/折射率不规则性）的系统和方法。

公开了一种干涉测量波度检测系统，并且该系统包括：分束器，被配置为接收准直光信号并将准直光信号分成沿第一路径行进的第一光信号和沿第二路径行进的第二光信号。检测系统包括第一镜，该第一镜被配置为沿第一路径接收和反射第一光信号。该检测系统包括第二镜，该第二镜被配置为经由透明材料沿第二路径接收和反射第二光信号，该透明材料沿着分束器和第二镜之间的第二路径定位。该检测系统包括2D光传感器阵列，其被配置为从分束器接收与沿第二路径双程（double）通过透明材料的反射的第二光信号合并的沿着第一路径的反射的第一光信号，并产生干涉条纹图案。非正弦干涉条纹图案指示沿第一路径的反射的第一光信号的第一波前与沿第二路径双程通过透明材料的反射的第二光信号的第二波前之间的几何相位变化。

公开了一种用于测量透明光学材料的平坦度中的波度（例如，非均匀变化）的方法。该方法包括在分束器处接收准直光信号。该方法包括使用分束器将准直光信号分成沿第一路径行进的第一光信号和沿第二路径行进的第二光信号。该方法包括使用第一镜接收第一光信号并沿第一路径反射第一光信号。该方法包括在第二镜处通过沿着分束器和第二镜之间的第二路径定位的透明材料接收第二光信号。该方法包括使用第二镜沿第二路径反射从透明材料接收的第二光信号。该方法包括使用分束器合并沿第一路径行进的反射的第一光信号和沿第二路径双程通过透明材料的反射的第二光信号。该方法包括从与反射的第二光信号合并的反射的第一光信号产生干涉条纹图案。非正弦干涉条纹图案指示沿第一路径行进的反射的第一光信号的第一波前与沿第二路径双程通过透明材料的反射的第二光信号的第二波前之间的几何相位变化。