[发明专利]药液供应装置

权利要求书

1.一种药液供应装置，其特征在于，包括：

药液吐出部件，其用于向基板上吐出药液；

储存槽，其用于储存向所述药液吐出部件供应的所述药液；

药液供应部件，其用于将储存于所述储存槽的所述药液供应到所述药液吐出部件；

药液循环部件，其用于从所述药液吐出部件向所述储存槽循环所述药液；

负压供应部件，其用于向所述药液吐出部件提供负压以保持所述药液吐出部件的弯月面；

气泡去除部件，其配置在所述储存槽内用于去除所述药液的内部能够发生的气泡；以及

负压调节部件，其用于调整向所述药液吐出部件提供的负压以稳定地保持所述药液吐出部件的弯月面，

其中，所述药液供应部件包括：

供应线路，其用于连接所述储存槽与所述药液吐出部件；以及

供应泵，其用于从所述储存槽向所述药液吐出部件泵送所述药液，

所述药液循环部件包括：

循环线路，其用于连接所述药液吐出部件与所述储存槽；以及

循环泵，其用于从所述药液吐出部件向所述储存槽泵送所述药液,

所述负压调节部件包括：

感测部件，其用于感测所述药液的状态；以及

控制部件，其用于根据所述感测部件感测到的所述药液的状态控制所述负压供应部件，

所述气泡去除部件包括：

具有多个孔的至少一个板，所述至少一个板在所述储存槽的内部向垂直于所述药液的流动方向的方向将所述储存槽的空间划分为多个区间，

所述感测部件包括：

第一压力传感器，其用于感测在所述供应线路的内部流动的所述药液的第一压力；

第二压力传感器，其用于感测在所述循环线路的内部流动的所述药液的第二压力；以及

流量传感器，其用于感测在所述循环线路的内部流动的所述药液的流量，

其中，所述控制部件根据来自所述感测部件的所述第一压力、所述第二压力及所述流量控制所述负压供应部件。

2.根据权利要求1所述的药液供应装置，其特征在于：

所述药液供应部件连接于所述储存槽的第一部分，所述药液循环部件连接于所述储存槽的第二部分。

3.根据权利要求1所述的药液供应装置，其特征在于：

所述至少一个板含有疏水性物质。

4.根据权利要求1所述的药液供应装置，其特征在于：

各所述孔具有300μm至500μm的孔。

5.根据权利要求1所述的药液供应装置，其特征在于，还包括：

缓冲部件，其用于吸收能够因所述药液的流动而发生的所述储存槽的振动。

6.根据权利要求1所述的药液供应装置，其特征在于，还包括：

缓冲储存槽，其用于临时储存向所述储存槽供应的所述药液。