[发明专利]药液供应装置

说明书

药液供应装置可包括药液吐出部件、储存槽、药液供应部件及药液循环部件。所述药液吐出部件能够向基板上吐出药液，所述储存槽能够储存向所述药液吐出部件供应的所述药液。所述药液供应部件能够将储存于所述储存槽的所述药液供应到所述药液吐出部件，所述药液循环部件能够从所述药液吐出部件向所述储存槽循环所述药液。本发明的药液供应装置能够防止药液供应装置内的药液停滞或闭塞。

技术领域

本发明的实施例涉及药液供应装置。更具体来讲，本发明的实施例涉及包括能够向基板上吐出药液的药液吐出部件及能够储存所述药液的储存槽的药液供应装置。

本申请享有2018年9月27日向韩国特许厅申请的韩国发明申请第10-2018-0114607号的优先权。

背景技术

用于液晶显示装置、有机发光显示装置等显示装置的制造工程的现有的药液供应装置大体可包括具有用于向基板上吐出药液的多个喷嘴的喷墨头之类的药液吐出部件与储存供应到所述药液吐出部件的药液的储存槽(reservoir)。

在现有的药液供应装置中，从所述储存槽向所述药液吐出部件供应的药液在所述储存槽内从所述储存槽的一部分向所述储存槽的另一部分流动。该情况下，所述药液可能会停滞于在所述储存槽内或在连接所述储存槽与所述药液吐出部件的药液供应线路内堵住。因此，所述储存槽内的所述药液内可能会发生气泡，所述药液通过所述药液供应线路的过程中包含于所述药液内的气泡可能会增大。含有这种气泡的药液供应到所述药液吐出部件的情况下，所述药液可能无法从所述药液吐出部件吐出到所述基板上，或者所述药液可能从所述药液吐出部件向所述基板上吐出不充分。

以往为了防止所述气泡的发生及增大导致所述药液无法吐出或不充分地吐出到所述基板上而频繁维修保养所述药液吐出部件。因此，具有用于维修保养所述药液吐出部件的费用及时间上升的问题。所述药液含有被添加颜料的有机溶剂的情况下，在所述储存槽内所述有机溶剂内的所述颜料可能会沉淀，因此所述药液可能无法具备所需的特性。

发明内容

技术问题

本发明的一个目的是提供能够防止药液供应装置内的药液停滞或闭塞的药液供应装置。

本发明的另一目的是提供能够有效地去除药液供应装置内的药液内能够发生的气泡的药液供应装置。

技术方案

根据用于达成上述本发明的一个目的的本发明的一个方面，提供一种可包括药液吐出部件、储存槽、药液供应部件及药液循环部件的药液供应装置。所述药液吐出部件能够向基板上吐出药液，储存槽能够储存向所述药液吐出部件供应的所述药液。所述药液供应部件能够将储存于所述储存槽的所述药液供应到所述药液吐出部件，所述药液循环部件能够从所述药液吐出部件向所述储存槽循环所述药液。

根据例示性的实施例，所述药液供应部件可包括能够连接所述储存槽与所述药液吐出部件的供应线路及能够从所述储存槽向所述药液吐出部件泵送所述药液的供应泵，所述药液循环部件可包括能够连接所述药液吐出部件与所述储存槽的循环线路及能够从所述药液吐出部件向所述储存槽泵送所述药液的循环泵。

根据例示性的实施例，所述药液供应部件可连接于所述储存槽的第一部分，所述药液循环部件可连接于所述储存槽的第二部分。

根据例示性的实施例，所述药液供应装置还可以包括配置在所述储存槽内用于去除所述药液的内部能够发生的气泡的气泡去除部件。

根据例示性的实施例，所述气泡去除部件可包括具有多个孔的至少一个板，所述至少一个板可在所述储存槽的内部向垂直于所述药液的流动方向的方向将所述储存槽的空间划分为多个区间。其中，所述至少一个板可含有疏水性物质。并且，各所述孔可具有约300μm至约500μm的孔。

根据例示性的实施例，所述药液供应装置还可以包括用于向所述药液吐出部件提供负压以保持所述药液吐出部件的弯月面。